[지재 판결문] 특허법원 2023허13865 - 등록무효(특)

 

[지재] 특허법원 2023허13865 - 등록무효(특).pdf

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특 허 법 원
제 2 부
판 결
사 건 2023허13865 등록무효(특)
원 고 A 주식회사
대표이사 B
소송대리인 법무법인(유한) 태평양
담당변호사 유승엽, 김창환
소송대리인 특허법인 태평양
담당변리사 박길채, 고준석
소송대리인 변리사 오세국
피 고 C(C)
대표자 D(D)
소송대리인 변호사 손천우
소송대리인 변리사 김상은, 지형근
소송복대리인 변리사 배세린
변 론 종 결 2025. 6. 11.
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판 결 선 고 2025. 7. 9.
주 문
1. 특허심판원이 2023. 9. 18. 2022당2992호 사건에 관하여 한 심결 중 특허 제135741
5호의 청구범위 제1항, 제5항, 제8항 내지 제11항, 제17항, 제18항, 제21항 내지 제
24항, 제26항, 제31항, 제35항 및 제39항 내지 제42항에 대한 부분을 취소한다.
2. 소송비용은 피고가 부담한다.
청 구 취 지
주문과 같다.
이 유
1. 기초 사실
가. 피고의 이 사건 특허발명(갑 제3, 18호증)
1) 발명의 명칭: 로우 프로파일 표면 장착 필터
2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 특허번호: 2007. 2. 9./ 2006. 2. 10./ 2014. 1. 23./ 
특허 제1357415호
3) 청구범위(2024. 10. 31.자 2024정38호 정정심결에 의하여 정정된 것으로, 밑줄 
친 부분이 정정된 부분이다)
【청구항 1】로우 프로파일 필터(low-profile filter)로서: 단일체의 재료 블록으로 
형성되고, 표면 장착 기판과 이 표면 장착 기판 상에 장착하는 단일 가스 장치 사이에 
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장착하도록 되어 있는 한편, 복수의 유동 경로 및 필터 공동이 내부에 형성된 필터 하
우징으로서(이하 ‘구성요소 1’이라 한다), 상기 필터 공동이 필터 하우징의 외부 표면에 
밀봉 가능한 개방 단부를 포함하고 로우 프로파일 필터의 사용시에 상기 개방 단부로
부터 수평 방향으로 연장하도록 형성되고(이하 ‘구성요소 2’라 한다), 제1 유로가 필터 
하우징의 제1 측부의 입구를 필터 공동의 제1 섹션에 연결하도록 형성되며, 제2 유로가 
필터 공동의 제2 섹션을 필터 하우징의 제2 측부의 출구에 연결하도록 형성되어 있고, 
상기 제1 측부와 제2 측부는 상기 필터 하우징에서의 서로 반대되는 측부들이며(이하 
‘구성요소 3’이라 한다), 제1 관통 유로 개구 및 제2 관통 유로 개구를 갖는 관통 유로
가 상기 필터 하우징의 제1 측부에서부터 상기 필터 하우징의 제2 측부까지 연장하고 상
기 필터 공동을 우회하게 형성되며(이하 ‘구성요소 4’라 한다), 상기 입구 및 상기 출구
는 각각 상기 제 1 측부 및 제2 측부의 중앙에 배치되고, 상기 제1 관통 유로 개구 및 
상기 제2 관통 유로 개구는 상기 입구 및 출구로부터 간격을 두고 배치되고, 상기 입
구, 상기 출구, 상기 제1 관통 유로 개구 및 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 표면 
장착 기판 및 상기 단일 가스 장치의 해당 포트들과 인터페이싱(interfacing)하도록 구
성되는 것인 필터 하우징; 및(이하 ‘구성요소 5’라 한다) 필터를 포함하는 한편, 상기 
필터 공동 내에 배치되고 필터 공동의 표면에 대해 밀봉되어, 이 필터 공동을 상기 제1 
섹션 및 상기 제2 섹션을 포함한 서로 인접한 섹션들로 분할하는 필터 조립체를 포함하
고(이하 ‘구성요소 6’이라 한다), 상기 필터 조립체는, 상기 필터 공동 내부에서 상기 
필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 필터 사이에 배치되며, 필터 및 필터 공동의 
표면과 결합되고 필터를 통한 흐름을 허용하도록 구성된 어댑터를 포함하고, 상기 필터는 
튜브 필터인,(이하 ‘구성요소 7’이라 한다) 로우 프로파일 필터(이하 ‘이 사건 제1항 
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정정발명’이라 하고, 나머지 청구항에 대해서도 같은 방식으로 부른다).
【청구항 2】 (삭제)
【청구항 3】 (삭제)
【청구항 4】 (삭제)
【청구항 5】 제1항에 있어서, 상기 어댑터는 상기 필터 공동의 표면에 결합되어 
억지끼워 맞춤 밀봉부(interference seal)를 형성하는 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 6 내지 7】 (삭제)
【청구항 8】 제1항에 있어서, 상기 입구는 상기 필터 하우징의 저부에 있고 상기 
출구는 상기 필터 하우징의 상부에 있는 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 9】 제8항에 있어서, 상기 제1 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 상
부의 관통 유로 입구이며, 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 저부의 관통 
유로 출구인 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 10】 제1항에 있어서, 상기 입구는 상기 필터 하우징의 상부에 있고 상
기 출구는 상기 필터 하우징의 저부에 있는 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 11】 제10항에 있어서, 상기 제1 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 
저부의 관통 유로 입구이며, 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 상부의 
관통유로 출구인 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 12 내지 16】(삭제)
【청구항 17】제1항에 있어서, 상기 필터 조립체는, 제1 필터를 포함하고 제1 필터 공
동 내에 배치되는 제1 필터 조립체이며, 상기 로우 프로파일 필터는, 제2 필터를 포함하
는 한편, 상기 필터 하우징에 형성된 제2 필터 공동 내에 배치되어 제2 필터 공동을서
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로 인접한 섹션들로 분할하는 제2 필터 조립체를 더 포함하는 것인 로우 프로파일 필
터.
【청구항 18】제17항에 있어서, 상기 제1 필터 조립체는, 제1 필터에 결합되고 제1 필
터 공동의 표면에 대해 밀봉되는 제1 어댑터를 더 포함하며, 상기 제2 필터 조립체는, 
제2 필터에 결합되고 제2 필터 공동의 표면에 대해 밀봉되는 제2 어댑터를 더 포함하는 
것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 19】(삭제)
【청구항 20】(삭제)
【청구항 21】제18항에 있어서, 상기 제1 유로는 상기 입구에서부터 상기 제1 필터 
동의 제1 섹션 및 제2 필터 공동의 제1 섹션에 이르게 되며, 상기 제2 유로는 제1 필터 
공동의 제2 섹션에서부터 상기 출구에 이르게 되고, 상기 필터 하우징은 제2 필터 
공동의 제2 섹션에서부터 상기 출구에 이르는 제3 유로를 형성하며, 상기 입구는 상기 
필터 하우징의 저부에 있고 상기 출구는 상기 필터 하우징의 상부에 있는 것인 로우 
프로파일 필터.
【청구항 22】제21항에 있어서, 상기 제1 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 상
부의 관통 유로 입구이며, 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 저부의 관
통유로 출구인 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 23】제18항에 있어서, 상기 제1 유로는 상기 입구에서부터 제1 필터 공동
의 제1 섹션 및 제2 필터 공동의 제1 섹션에 이르게 되며, 상기 제2 유로는 제1 필터 
공동의 제2 섹션에서부터 상기 출구에 이르게 되고, 상기 필터 하우징은 제2 필터 공
동의 제2 섹션에서부터 상기 출구에 이르는 제3 유로를 형성하며, 상기 입구는 상기 
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필터 하우징의 상부에 있고 상기 출구는 상기 필터 하우징의 저부에 있는 것인 로우 
프로파일 필터.
【청구항 24】제23항에 있어서, 상기 제1 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 저
부의 관통 유로 입구이며, 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 필터 하우징의 상부의 관
통 유로 출구인 것인 로우 프로파일 필터.
【청구항 25】(삭제)
【청구항 26】로우 프로파일 필터를 이용하여 가스를 여과하는 방법으로서:
필터를 기판에 장착하는 단계;
상기 필터에 단일 표면 장착 가스 장치를 장착하는 단계;
단일체의 재료 블록으로 형성된 필터 하우징의 입구에서부터 수평한 제1 필터 공동으
로 가스를 안내하는 단계로, 상기 제1 필터 공동은 필터 하우징의 외부 표면에 밀봉 
가능한 개방 단부를 포함하는 단계;
가스가 상기 가스 장치를 통과하기 전 또는 후에 여과되도록, 가스를 수평한 방향으로 
제1 필터 조립체 안으로 유입하여 어댑터 및 제1 필터를 통해 흐르게 하여 가스를 여
과하는 단계로, 상기 어댑터는 상기 제1 필터 공동 내부에서 상기 제1 필터 공동의 밀
봉 가능한 개방 단부와 제1 필터 사이에 배치되며 제1 필터 및 제1 필터 공동의 표면
과 결합되고 제1 필터를 통한 흐름을 허용하도록 구성된, 단계;
상기 제1 필터 공동에서부터 필터 하우징의 출구로 가스를 안내하는 단계; 및 
여과 전에 상기 가스를 상기 기판으로부터 관통 유로를 통해 상기 단일 가스 장치로 
안내하거나, 여과 후에 상기 가스를 상기 단일 가스 장치로부터 상기 관통 유로를 통
해 상기 기판으로 안내하는 단계를 포함하며, 상기 관통 유로는 필터의 제1 측부 상의 
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제1 관통 유로 개구로부터 필터의 제2 측부 상의 제2 관통 유로 개구로 연장하며, 상
기 제1 측부와 제2 측부는 상기 필터에 있어서의 서로 반대되는 측부들이고, 상기 입
구 및 상기 출구는 각각 상기 제1 측부 및 제2 측부의 중앙에 배치되고, 상기 제1 관
통 유로 개구 및 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 입구 및 출구로부터 간격을 두고 배
치되고, 상기 제1 필터는 튜브 필터인, 가스 여과 방법.
【청구항 27】(삭제)
【청구항 28】(삭제)
【청구항 29 내지 30】(삭제)
【청구항 31】제26항에 있어서, 상기 입구에서부터 수평한 제2 필터 공동으로 가
스를 안내하는 단계; 및 가스를 여과하도록 가스를 수평한 방향으로 제2 필터 조립체 
안으로 유입하여 제2 필터를 통해 흐르게 하는 단계; 및 상기 제2 필터 공동에서부터 
필터 하우징의 출구로 가스를 안내하는 단계를 더 포함하는 것인 가스 여과 방법.
【청구항 32 내지 34】(삭제)
【청구항 35】로우 프로파일 필터를 제조하는 방법으로서:
상부면 및 저부면을 갖는 필터 하우징을 단일체의 재료 블록으로 형성하는 단계;
상기 필터 하우징 내에, 사용시에 수평 방향으로 배향되는 필터 공동을 기계 가공하는 
단계로, 상기 필터 공동은 필터 하우징의 외부 표면에 밀봉 가능한 개방 단부를 포함
하는, 단계;
상기 필터 하우징 내에 필터 하우징의 제1 측부 상의 입구에서부터 필터 공동까지 연
장하는 제1 유로를 기계 가공하고, 상기 필터 하우징 내에 상기 필터 공동에서부터 상
기 필터 하우징의 제2 측부 상의 출구에 이르는 제2 유로를 기계 가공하는 단계로서, 
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상기 제1 측부와 제2 측부는 상기 필터 하우징에 있어서의 서로 반대되는 측부들인 것
인, 제1 및 제2 유로를 기계 가공하는 단계;
제1 관통 유로 개구 및 제2 관통 유로 개구를 갖는 관통 유로를, 상기 필터 하우징의 
제1 측부에서부터 상기 필터 하우징의 제2 측부까지 연장하고 상기 필터 공동을 우회
하게 형성하는 단계로서, 상기 입구 및 상기 출구는 각각 상기 제1 측부 및 제2 측부
의 중앙에 배치되고, 상기 제1 관통 유로 개구 및 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 입
구 및 출구로부터 간격을 두고 배치되고 상기 입구, 상기 출구, 상기 제1 관통 유로 개
구 및 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 표면 장착 기판 및 단일 가스 장치의 해당 포
트들과 인터페이싱하도록 구성되고 서로 간격을 두고 배치되는 것인, 관통 유로를 형
성하는 단계;
필터를 어댑터에 결합하는 것을 포함하며, 이 어댑터는 상기 필터 공동 내부에서 상기 
필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 필터 사이에 배치되며 필터 공동의 표면에 대해 
밀봉되고 필터를 통한 흐름을 허용하도록 구성된 것인 필터 조립체를 형성하는 단계와,
상기 제1 유로가 필터 공동으로 들어가게 되는 제1 섹션과, 상기 제2 유로가 필터 공동
으로 들어가게 되는 제2 섹션으로 이루어진 인접한 섹션들로 상기 필터 공동을 분할하
도록 필터 공동의 표면에 대해 필터 조립체를 밀봉하는 단계를 포함하고, 상기 필터는 
튜브 필터인, 로우 프로파일 필터 제조 방법.
【청구항 36】(삭제)
【청구항 37】(삭제)
【청구항 38】(삭제)
【청구항 39】제35항에 있어서, 상기 필터는 금속 튜브 필터이며, 상기 어댑터는 스
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테인레스강 어댑터이며, 상기 필터를 어댑터에 결합하는 단계는 필터를 어댑터에 용접
하는 것을 포함하는 것인 로우 프로파일 필터 제조 방법.
【청구항 40】제35항에 있어서, 상기 밀봉은 상기 필터 조립체와 상기 필터 공동의 
표면 사이에 억지끼워맞춤 밀봉부를 포함하는 것인 로우 프로파일 필터 제조 방법.
【청구항 41】제40항에 있어서, 억지끼워맞춤 밀봉부를 생성하기에 충분한 힘으로 
상기 필터 조립체를 필터 공동 안에 압입하여 억지끼워맞춤 밀봉부를 생성하는 것을 
더 포함하는 것인 로우 프로파일 필터 제조 방법.
【청구항 42】제40항에 있어서, 상기 필터 공동을 팽창시키도록 필터 하우징을 가열하
고, 상기 필터 조립체를 냉각시키며, 상기 필터 조립체를 필터 공동 내에 삽입하고, 그
리고 상기 필터 하우징 및 필터 조립체를 상온으로 되게 함으로써, 억지끼워맞춤 밀봉
부를 생성하는 것을 더 포함하는 것인 로우 프로파일 필터 제조 방법.
【청구항 43 내지 46】(삭제)
【청구항 47】 (삭제)
【청구항 48 내지 68】(삭제)
4) 주요 내용
이 사건 특허발명의 명세서 중 발명의 설명과 도면의 주요 내용은 별지 1과 같다. 
나. 선행발명들
1) 선행발명 1(갑 제7호증)
2004. 9. 9. 공개된 미국 특허출원공개공보 제2004-0173151호에 게재된 ‘가스 공
급 유닛’에 관한 것으로, 그 주요 내용은 별지 2와 같다. 
2) 선행발명 2(갑 제8호증)
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2003. 6. 12. 공개된 미국 특허출원공개공보 제2003-0106597호에 게재된 ‘가스 공급 
유닛’에 관한 것으로, 그 주요 내용은 별지 3과 같다. 
다. 이 사건 심결의 경위 및 관련 정정심결의 확정
1) 원고는 2022. 10. 31. 특허심판원에 피고를 상대로 ‘정정 전 이 사건 특허발명은 
선행발명 1에 의하여 신규성이 부정되고, 선행발명 1, 2에 의하여 진보성이 부정되며, 
쉽게 실시할 수 있도록 명확하고 상세하게 설명되어 있지 않고, 발명의 설명에 의하
여 뒷받침되지 않는다.’고 주장하면서 등록무효심판을 청구하였다(2022당2992호).
2) 피고는 2023. 1. 27., 2023. 5. 8. 두 차례에 걸쳐 이 사건 특허발명의 청구범위를 
정정하는 내용의 정정청구를 하였다.
3) 특허심판원은 2023. 9. 18. ’피고의 정정청구는 적법하다. 정정된 이 사건 제1항, 제
4항 내지 제5항, 제8항 내지 제11항, 제17항 내지 제18항, 제20항 내지 제24항, 제26항, 
제28항, 제31항, 제35항, 제38항 내지 제42항 발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하더라
도 쉽게 발명할 수 없으므로 진보성이 부정되지 않고, 위 청구항들은 쉽게 실시할 수 있
도록 명확하고 상세하게 기재되어 있으며, 발명의 설명에 의하여 뒷받침된다.‘는 이유로 
원고의 위 심판청구 중 정정에 의하여 삭제된 이 사건 제2항, 제36항 및 제47항 특허
발명에 대한 심판 청구를 각하하고, 나머지 정정된 청구항에 대한 심판 청구를 기각하는 
심결(이하 ’이 사건 심결‘이라 한다)을 하였다. 
4) 피고는 이 사건 심결취소소송이 계속 중이던 2024. 5. 10. 특허심판원에 이 사
건 특허발명의 청구범위를 위 ’1. 가. 3)항‘의 기재와 같이 정정하는 내용의 정정심판
을 청구하였다(2024정38호). 특허심판원은 2024. 10. 31. 피고의 위 정정심판 청구를 인
용하는 내용의 심결을 하였고, 위 심결은 그대로 확정되었다.
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[인정 근거] 다툼 없는 사실, 갑 제1 내지 3, 7, 8, 18호증의 각 기재, 변론 전체의 취지
2. 당사자 주장의 요지
가. 원고
이 사건 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정되므로, 이와 
결론을 달리한 이 사건 심결은 위법하다. 
나. 피고
이 사건 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 진보성이 부정되지 않는다. 
3. 이 사건 심결의 위법 여부
가. 이 사건 제1항 정정발명의 진보성 부정 여부
1) 선행발명 1과의 구성 대비 
이 사건 제1항 정정발명과 선행발명 1의 대응 구성을 대비하면 아래 표 기재와 
같다. 
구성
요소
이 사건 제1항 정정발명 선행발명 1
1
로우 프로파일 필터(low-profile filter)로서: 단
일체의 재료 블록으로 형성되고, 표면 장착 
기판과 이 표면 장착 기판 상에 장착하는 단
일 가스 장치 사이에 장착하도록 되어 있는 
한편, 복수의 유동 경로 및 필터 공동이 내부
에 형성된 필터 하우징으로서,
- 필터블록(26)은 단일체의 재료 블록으
로 형성(도 1),
- 필터블록이 표면 장착 기판과 레귤레
이터(2)와 같은 하나의 장치 사이에 장
착
- 복수의 유동 경로 및 필터 공동(25)이 
내부에 형성된 필터블록(26)(도 4)
2
상기 필터 공동이 필터 하우징의 외부 표면에 
밀봉 가능한 개방 단부를 포함하고 로우 프로
파일 필터의 사용 시에 상기 개방 단부로부터 
수평 방향으로 연장하도록 형성되고,
- 필터블록(50)의 외부 표면에 밀봉 가능
한 개방 단부를 포함
- 사용시 필터 공동이 수평 방향으로 
연장하도록 형성(도 14)
3 제1 유로가 필터 하우징의 제1 측부의 입구를 제1 유로(28)가 필터블록의 제1 측부(하
- 12 -
필터 공동의 제1 섹션에 연결하도록 형성되
며, 제2 유로가 필터 공동의 제2 섹션을 필터 
하우징의 제2 측부의 출구에 연결하도록 형성
되어 있고, 상기 제1 측부와 제2 측부는 상기 
필터 하우징에서의 서로 반대되는 측부들이
며,
면)의 입구(21)를 필터 공동의 제1 섹션
에 연결하도록 형성되어 있고, 제2 유로가 
필터블록의 제2 섹션을 필터블록의 제2 
측부(상면)의 출구에 연결하도록 형성
되어 있으며, 제1 측부와 제2 측부가 필
터 블록에서 서로 반대되는 측부인 구성
(도4)
4
제1 관통 유로 개구 및 제2 관통 유로 개구를 
갖는 관통 유로가 상기 필터 하우징의 제1 측
부에서부터 상기 필터 하우징의 제2 측부까지 
연장하고 상기 필터 공동을 우회하게 형성되
며,
포트(22, 24)를 연결하는 유로는 필터 
공동을 우회하도록 형성
5
상기 입구 및 상기 출구는 각각 상기 제1 측
부 및 제2 측부의 중앙에 배치되고, 상기 제1 
관통 유로 개구 및 상기 제2 관통 유로 개구
는 상기 입구 및 출구로부터 간격을 두고 배
치되고 상기 입구, 상기 출구, 상기 제1 관통 
유로 개구 및 상기 제2 관통 유로 개구는 상
기 표면 장착 기판 및 상기 단일 가스 장치의 
해당 포트들과 인터페이싱(interfacing)하도록 
구성되는 것인 필터 하우징; 및
포트들(21~24)은 하부 유로블록과 상부 
처리유닛의 해당 포트들과 인터페이
싱하도록 구성 
6
필터를 포함하는 한편, 상기 필터 공동 내에 
배치되고 필터 공동의 표면에 대해 밀봉되어, 
이 필터 공동을 상기 제1 섹션 및 상기 제2 
섹션을 포함한 서로 인접한 섹션들로 분할하
는 필터 조립체를 포함하고, 
필터 엘리먼트가 필터 공동 내에 배치
되고, 필터 공동이(55)이 제1 섹션(빨간
색 부분)과 제2섹션(파란색 부분)으로 
분할되는 구성
- 13 -
2) 공통점 및 차이점 분석
가) 구성요소 1
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 1과 선행발명 1의 대응구성은 모두 단일체의 
재료 블록으로 형성되고, 표면 장착 기판과 표면 장착 기판 상에 장착하는 단일의 가
스 장치 사이에 장착되며, 복수의 유동 경로 및 필터 공동이 내부에 형성된 로우 프로
파일 필터라는 점에서 실질적으로 동일하다(아래의 선행발명 1의 도 1, 도 4 참조). 
[도 1] 본 발명의 제1 실시예의 가스 공급 장치의 측면도 [도 4] 도 1의 NN선을 따른 단면도
나) 구성요소 2
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 2와 선행발명 1의 대응구성은 모두 필터 하우
징[필터 블록]1)에 밀봉 가능한 개방 단부를 포함하고, 사용시 필터 공동이 개방 단부로
< 선행발명 1의 도 14 >
7
상기 필터 조립체는, 상기 필터 공동 내부에
서 상기 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부
와 필터 사이에 배치되며, 필터 및 필터 공동
의 표면과 결합되고 필터를 통한 흐름을 허용
하도록 구성된 어댑터를 포함하고, 상기 필터
는 튜브 필터인, 로우 프로파일 필터.
필터 공동 내 필터 엘리먼트가 환상판
에 의하여 필터 공동에 끼워 넣어지고 
필터 공동 개구부가 덮개에 의해 닫혀
지며, 환상판-필터 엘리먼트-덮개 순서
로 배열됨.
- 14 -
부터 수평 방향으로 연장하도록 형성되어 있는 점에서 실질적으로 동일하다. 
다) 구성요소 3
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 3과 선행발명 1의 대응구성은 모두 제1 유로
가 필터 하우징[필터 블록]의 제1 측부의 입구를 필터 공동의 제1 섹션에 연결하도록 
형성되고, 제2 유로가 필터 공동의 제2 섹션을 필터 하우징[필터 블록]의 제2 측부의 
출구에 연결하도록 형성되며, 제1 측부와 제2 측부는 필터 하우징[필터 블록]에서의 서
로 반대되는 측부에 해당한다는 점에서 실질적으로 동일하다. 
라) 구성요소 4
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 4와 선행발명 1의 대응구성은 모두 제1, 2 관
통 유로 개구[선행발명 1의 도 4에 개시된 제1, 2 관통 유로 개구(22, 24)]가 필터 하
우징[필터 블록]의 제1 측부에서부터 제2 측부까지 연장되고 필터공동을 우회하도록 형
성되어 있는 점에서 실질적으로 동일하다. 
마) 구성요소 5
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 5는 ‘필터 하우징의 입구 및 출구가 각각 제1, 
2 측부의 중앙에 배치되고, 제1, 2 관통 유로 개구가 상기 입구 및 출구로부터 간격을 
두고 배치되며, 필터 하우징의 입구와 출구, 제1, 2 관통 유로 개구는 표면 장착 기판 
및 단일 가스 장치의 해당 포트들과 인터페이싱하도록 구성되는 것인 필터 하우징’이다. 
이에 대응하여 선행발명 1에는 필터 블록의 입구 및 출구가 각각 제1, 2 측부의 (중앙
이 아닌) 한쪽 측면에 배치되고, 제1, 2 관통 유로 개구가 입구 및 출구로부터 간격을 
두고 배치되며, 필터 하우징의 입구와 출구, 제1, 2 관통 유로 개구는 표면 장착 기판 및 
1) 이 사건 정정발명의 구성요소에 대응하는 선행발명의 구성요소를 대괄호 안에 기재한다. 이하 같다. 
- 15 -
레귤레이터 등 단일 가스 장치의 해당 포트들과 인터페이싱하도록 구성되어 있다(아래의 
선행발명 1의 도 2, 3, 6 참조). 
[도 2] 레귤레이터 하면도 [도 3] 필터블록 상면도 [도 6] 유로블록 상면도
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 5와 선행발명 1의 대응구성은 입구 및 출구가 
제1, 2 측부에 배치되고, 제1, 2 관통 유로 개구가 입구 및 출구로부터 간격을 두고 배
치되며, 입구, 출구, 제1, 2 관통 유로 개구는 표면 장착 기판 및 단일 가스 장치의 해당 포
트들과 인터페이싱하도록 구성된다는 점에서 공통된다. 
그러나 구성요소 5는 입출구 포트가 중앙에 배치되는 반면 선행발명 1의 입출구 
포트는 중앙이 아닌 측면에 배치되는 점에서 차이가 있다(이하 ‘차이점 1’이라 한다).
이 사건 제1항 정정발명 선행발명 1
[도 4a] 로우 프로파일 필터의 실시예 [도 3] 필터블록 상면도
- 16 -
바) 구성요소 6
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 6과 선행발명 1의 대응구성은 모두 필터 조립
체[필터 엘리먼트와 링 플레이트의 결합체]가 필터 공동 내에 배치되고, 필터 공동의 
한측 면이 덮개로 밀봉되어, 필터 공동이 제1 섹션[앞서 본 구성요소 대비표 상의 선행발
명 1의 도 14의 붉은색 부분] 및 제2 섹션[앞서 본 구성요소 대비표 상의 선행발명 1의 도 
14의 푸른색 부분]으로 분할되는 점에서 실질적으로 동일하다. 
사) 구성요소 7
이 사건 제1항 정정발명의 구성요소 7과 선행발명 1의 대응구성은 모두, 어댑터
[링 플레이트]가 필터[필터 엘리먼트] 및 필터 공동의 표면과 결합되고 필터[필터 엘리
먼트]를 통한 흐름을 허용하도록 구성되며, 필터[필터 엘리먼트]가 튜브 형상이라는 점
에서 동일하나, 구성요소 7은 어댑터가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 필터 사
이에 배치되는 반면, 선행발명 1의 링 플레이트는 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부
의 반대편과 필터 엘리먼트 사이에 배치된다는 점에서 차이(이하 ‘차이점 2’라 한다)가 
있다. 
이 사건 제1항 정정발명 선행발명 1
- 17 -
피고는 이 사건 제1항 정정발명의 어댑터는 튜브 필터(438)에 용접 또는 기타의 
방식으로 결합하여 필터 조립체(430)를 형성하고, 필터 공동의 표면과 결합하여 필터 
조립체(430)와 필터 공동(402)의 벽 사이에 밀봉부를 형성하며, 밀봉부는 압입 또는 냉
각 수축과 가열 팽창을 이용하여 어댑터(440)와 필터 공동(402)의 벽 간의 억지끼워맞
춤을 통해 형성되거나 용접으로 형성되는 것으로, 이를 통해 튜브 필터를 필터 공동 
내에 고정하고 지지하는 효과를 가지는 반면, 선행발명 1의 링 플레이트(60)는 필터 엘
리먼트(56)와 필터 공동의 결합 관계를 구체적으로 개시하고 있지 않으므로 위와 같은 
효과를 가지지 않는다고 주장한다. 그러나 이 사건 제1항 정정발명은 어댑터의 구성 
및 기능에 관하여 ‘필터 및 필터 공동의 표면과 결합’되고, ‘필터를 통한 흐름을 허용하
도록 구성’된다고만 한정하고, 선행발명 1의 링 플레이트 역시 필터 엘리먼트(56) 및 
필터 공동의 표면과 결합되고 필터를 통한 흐름을 허용하도록 구성되어 있으므로 이 
사건 제1항 정정발명의 청구범위에서 한정한 어댑터의 구성 및 기능과 동일하다. 
피고는 이 사건 제1항 정정발명의 어댑터는 필터를 필터 공동의 표면에 고정시키
는 기능을 하는 반면, 선행발명 1의 링 플레이트는 필터 엘리먼트와 필터 블록 사이의 
간극으로부터 가스가 누출되는 것을 방지하기 위한 것일 뿐 필터를 필터 공동에 고정
하기 위한 구성이 아닌 점에서 차이가 있다고 주장하나, 선행발명 1의 도 14에는 필터 
엘리먼트가 필터 공동의 벽에 링 플레이트와 함께 결합하여 고정되는 구성이 개시되어 
있고, 위 도면상에 개시된 링 플레이트, 필터 엘리먼트, 필터 공동의 구조상 링 플레이
트가 존재하지 않는다면 필터 엘리먼트가 필터 공동 사이에 고정되어 있을 수 없음은 
자명하므로, 선행발명 1의 링 플레이트가 필터 엘리먼트를 필터 공동에 고정하기 위한 
구성이 아니라는 피고 주장은 받아들이지 않는다. 
- 18 -
피고는, 이 사건 제1항 정정발명의 어댑터는 그 자체만으로 필터를 필터 공동의 
표면에 고정시키는 것인 반면, 선행발명 1은 덮개가 필터 엘리먼트의 끝단을 압착하여
야만 필터 엘리먼트가 필터 공동에 고정되는 것이므로 선행발명 1의 링 플레이트와 이 
사건 제1항 정정발명의 어댑터가 상이한 것이라는 취지로도 주장하나, 앞서 본 바와 
같이 이 사건 제1항 정정발명의 어댑터는 필터 공동의 내부에서 필터 공동의 밀봉 가
능한 개방 단부와 필터 사이에 배치되고, 필터 및 필터 공동의 표면과 결합되며, 필터
를 통한 흐름을 허용하도록 구성된 것으로 한정되어 있을 뿐이고, 그 자체를 통해서만 
필터를 필터 공동의 표면에 결합하여 고정할 것을 요구하고 있지 않다. 따라서 이를 
전제로 한 피고의 주장은 받아들이지 않는다. 
피고는, 이 사건 제1항 정정발명의 어댑터가 그 자체로 필터를 필터 공동의 표면
에 고정하는 기능을 하고 있기 때문에 필터의 모든 면적이 가스 여과에 사용될 수 있
도록 하여 데드 스페이스를 최소화하는 효과를 가진다는 점에서도 선행발명 1의 링 플
레이트가 가지지 못하는 기능과 효과가 있다고 주장한다. 그러나, ① 이 사건 제1항 정
정발명의 어댑터는 그 자체만으로 필터를 필터 공동의 표면에 고정하도록 한정하고 있
지 않은 점, ② 피고의 위 주장은 이 사건 제1항 정정발명의 튜브 필터가 ‘컵의 형상’
을 가진 튜브 필터로 한정되는 것을 전제로 한 것인데, 이 사건 제1항 정정발명은 필
터를 ‘튜브 필터’로 한정하고 있어, 이 사건 제1항 정정발명의 튜브 필터는 ‘튜브’의 사
전적인 의미인 ‘컵’ 및 ‘관’의 형상을 가진 필터를 의미하는 것으로 보아야 하는 점 등
을 고려하면 피고의 위 주장은 그 전제부터 잘못되었다. 
3) 차이점들에 대한 검토
가) 차이점 1
- 19 -
다음과 같은 이유로, 통상의 기술자는 선행발명 1로부터 차이점 1을 쉽게 극복할 수 
있다고 봄이 타당하다.
(1) 차이점 1은 이 사건 제1항 정정발명의 필터 하우징의 입출구 포트가 중앙에 배
치되는 것인 반면, 선행발명 1의 필터 블록의 입출구 포트는 중앙이 아닌 측면에 배치되
는 것이다. 
선행발명 1의 아래 기재에 의하면, 유체제어기기 중 하나인 필터(104)가 하나의 칼
럼을 차지함에 따라 설치 공간을 필요로 하고, 그로 인하여 부피 및 부품 수가 증가하는 
등의 문제를 종래의 가스공급장치가 가지는 문제점으로 인식하고, 이를 해결하기 위하여 
종래 하나의 칼럼을 차지하던 필터(104)를 ‘다른 유체 제어기기(예를 들면, 아래의 실시
예에서의 레귤레이터)와 유로 블록 사이에 설치되고, 유체 제어기기와 유로 블록을 연통
시키는 유로에 필터를 장착한 구성을 포함하는 필터 블록’으로 변경한 것이 선행발명 1
의 기술사상의 핵심이다. 
선행발명 1(갑 제7호증)
[0007] 다만, 도 15의 가스공급유닛(100)은 다음과 같은 단점이 있다.
[0008] 구체적으로 가스 공급 유닛 100에서는 유체 제어기기 101~108를 유로 블록 
109~117의 상면에 설치해 공급 가스의 유로를 형성하고 있기 때문에, 예를 들면 유체 제어 
기기 101~108의 하나인 필터 104를 2개의 유로 블록 112, 113에 접속할 필요가 있다. 따
라서 가스 공급 유닛 100은 가스 공급 라인에 설치할 때, 유체 제어 기기 101~108과 유로 
블록 109~117의 설치 공간을 필요로 해, 점유 스페이스가 커지는 문제가 있었다. 또한 유
체 제어 기기 101~108이나 유로 블록 109~117 등 부품수가 많기 때문에 가스 공급 유닛 
100 자체의 중량이 무거워지는 문제가 있었다.
- 20 -
그런데 종래 하나의 칼럼을 차지하던 필터를 ‘다른 유체 제어기기와 유로 블록 사
이에 설치되고, 유체 제어기기와 유로 블록을 연통시키는 유로에 필터를 장착한 구성을 
포함하는 필터 블록’으로 변경함에 있어서는, 필연적으로 위 필터가 설치되는 유체 제어
기기의 하면과 유로 블록의 상면의 각 포트(필터 블록의 하우징에 형성된 각 입출구 포
트와 결착되는 포트)의 접속이 가능하도록 구성되어야 한다. 즉 선행발명 1을 접한 통상
[0010] 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 된 것이며 콤팩트하고 경량이며, 배치 변경
이 용이한 가스 공급 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0011] 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은 2 이상의 유체 제어 기기와 
유로 블록을 가지며, 유로 블록의 상면에 유체 제어 기기를 설치함으로써 유체 제어 기기끼
리를 접속하고 가스 공급 라인의 일부를 구성하는 가스 공급유닛에 있어서 유체 제어 기기
와 유로 블록 사이에 설치되고 유체 제어 기기와 유로 블록을 연통시키는 유로에 필터 엘
리먼트를 마련한 필터 블록을 가지는 것을 특징으로 하고 있다.
[0033] 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10과 종래의 가스 공급 유닛 100과의 차이는 가스 
공급 유닛을 구성하는 모듈에서 필터 104를 제거하고 있는 점에 있다. 필터 104는 공급된 
공급 가스 내의 혼입 불순물을 제거하기 때문에 가스 공급 라인을 구성하는데 있어서 필요
한 구성이지만 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10에서는 그것을 수동 밸브 1이나 레귤레
이터 2등과 같이 모듈화하는 것이 아니라, 필터 기능을 내장하는 새로운 필터 블록 20으로 
대체한다.
- 21 -
의 기술자라면 선행발명 1의 앞서 본 기술사상의 핵심, 선행발명 1의 필터 블록과 이에 
형성된 입출구 포트의 기능 및 작용 효과 등을 고려할 때, 필터 블록의 입출구 포트를 
유체 제어기기와 유로 블록에 형성된 포트와 동일한 위치에 배치하는 것이 필수적이라
고 인식할 것이 자명하다. 
선행발명 1에는 아래와 같이, 필터 블록에 형성된 입출구 포트의 위치가 그 상면에 
설치되는 유체 제어기기(레귤레이터 2)의 하면에 형성된 포트와 접속 가능하도록 동일한 
위치에 형성되어야 한다고 명시되어 있기도 하다. 
선행발명 1(갑 제7호증)
[0039] 필터 블록 20의 상면에는 레귤레이터 2의 입력 포트 32와 출력 포트 33에 접속 가
능한 포트 21, 22가 형성되어 있다. 
(2) 이 사건 정정발명의 명세서에도 ‘로우 프로파일 필터는 각종 기판 블록에 맞도
록 구성될 수 있다’는 점, ‘C-Seal, W-Seal, 또는 당업계에서 공지되어 있거나 개발된 기
타의 패털 기판 블록에 부합하도록 형성될 수 있다’는 점이 개시되어 있다. 
(3) 아래에서 보는 바와 같이 이 사건 정정발명의 명세서에는 ‘필터 하우징의 입출
구 포트가 중앙에 배치되는 구성’이 당업계에 공지된 기판 블록의 구조 중 ‘C-Seal’ 구조
의 기판 블록 및 가스 장치의 해당 포트(입, 출구와 결착되는 포트)에 부합하기 위한 것
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이라는 취지로 기재되어 있을 뿐, 달리 위 구성이 가지는 기술적 의의 및 이를 채택함으
로 인하여 얻어지는 효과나 장점을 알 수 있는 아무런 기재가 없다. 따라서 이 사건 제1
항 정정발명의 ‘필터 하우징의 입출구 포트를 중앙에 배치하는 구성’의 기술적 의의는 
그 입출구 포트가 로우 프로파일 필터의 상면 및 하면에 설치되는 가스장치와 기판 블
록의 포트와 접속 가능하도록 형성되어 이들과 인터페이싱 되도록 하는 것에 있다. 
이 사건 정정발명 명세서(갑 제3호증)
[0035] 작동시에, 가스는 기판 블록(212)을 통해 로우 프로파일 필터(210)의 저부로 유입된다. 
이 가스는 여과되어 압력 변환기(214)로 보내지거나, 압력 변환기(214)로 보내졌다가 기판 
블록(212)으로 돌아오는 중에 여과될 수 있다. 로우 프로파일 필터(210)는 각종 기판 블록에 
맞도록 구성될 수 있는 것으로, K1S, K1, K1H, C-Seal, WSeal, CS-Seal 또는 당업계에서 공
지되어 있거나 개발된 기타 가스 패널 기판 블록에 부합하도록 형성될 수 있다. 추가로, 압력 
변환기(214) 외에 로우 프로파일 필터(210) 상에 장착될 수 있는 다른 구성 요소로는 질량 유
량 제어기, 디스플레이 장치, 습도 모니터, 게이지, 밸브, 확산기, 압력 조절기, 또는 당업계에서 
공지되어 있거나 개발된 기타 구성 요소가 있으며, 이들에 한정되지는 않는다.
[0038] 필터 하우징(400)은 기타 재료가 사용될 수 있지만, 스테인레스강과 같이 가스 흐름을 
안내하는 데에 적합한 재료로 이루어질 수 있다. 필터 하우징(400)의 여러 특징들은 로우 프로파
일 필터(210)가 각종 기판 블록 및 구성 요소에 부합할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들
면, 로우 프로파일 필터(210)는 C-Seal 구조에 부합할 수 있다. 따라서, 필터 하우징(400)은 
1.125인치의 폭과 1.125인치의 깊이를 가질 수 있으며(즉, C-Seal 기판 블록과 대략 동일한 
풋프린트를 가질 수 있음), 높이가 0.375인치일 수 있다. 이 예에서, 포트(406)는 로우 프
로파일 필터(210)에 대한 입구 포트로서 기능을 할 것이며, 포트(410)는 로우 프로파일 필
터(210)의 상부에 적재된 구성 요소에 가스를 제공하기 위한 출구 포트로서 기능을 할 것이
며(즉, C-Seal 구조에 따르면, 중앙 포트가 구성 요소의 입구 포트임), 포트(410)는 적재된 
구성 요소에 여과된 가스를 제공할 것이며, 포트(408)는 기판 블록에 대한 출구 포트일 것
이다. 따라서, 로우 프로파일 필터(210)의 상부에 적재된 구성 요소에 대해, 필터하우징(400)은 
C-Seal 기판 블록과 동일한 포트 배치를 제공할 수 있다.
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(4) 각종 반도체 장치에 관한 국제 표준 SEMI2) 20043) 중 ‘가스분배장치에 관한 
주요 표준’(갑 제4호증의 1 내지 갑 제5호증의 44))5)에는 입출구 포트가 양 측면에 배
치된 가스 분배기의 마운트 표면에 관한 규격(SEMI F83-0304, SEMI F91-0304)과, 입·
출구 포트 중 하나는 중앙에, 다른 하나는 측면에 배치된 가스 분배기의 마운트 표면
에 관한 규격(’C-seal’ 구조, SEMI F86-0304, SEMI F94-0304)이 존재한다. 위 표준의 
존재로부터 이 사건 정정발명의 우선권 주장일(2006. 2. 10.) 이전에 이미 가스분배장
치의 마운트 표면에 입출구 포트가 양 측면에 배치되는 형태, 포트 중 하나는 중앙에 
배치되는 형태가 모두 규격화되어 널리 사용되어 온 사실, 가스공급장치에 설치되는 
부품들(선행발명 1과 이 사건 정정발명의 필터블록, 로우프로파일 필터 등을 포함한다)
은 그 부품들이 설치될 가스공급장치가 채택하고 있는 마운트 표면에 관한 표준 규격
에 맞추어, 그 규격에서 정한 입출구 포트와 접속이 가능하도록 제작, 공급되어 온 사
실을 인정할 수 있다. 
2) SEMI란 국제반도체장비재료협회(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 제정한 국제 표준으로, 현재 약 
1,000여개 이상의 표준이 있으며 전세계 반도체 제조공정에 사용되는 표준이다(갑 제4호증의 1 내지 3 참조).
3) SEMI 2004: “SPECIFICATION FOR DIMENSION OF TWO PORT COMPONENTS(EXCEPT MFC/MFM) FOR 1.125 INCH 
TYPE TWO FASTENER CONFIGURATION SURFACE MOUNT GAS DISTRIBUTION SYSTEMS”이라는 명칭의 장치 규격 표
준으로, 1.125인치 타입의 2개의 가스분배장치의 표면 마운트 연결, 고정에 관한 것이다. 
4) 갑 제5호증의 1 내지 4의 표준 문서에 이들은 2004년 3월에 공개된 것이라고 아래와 같이 기재되어 있다. 
5) SEMI 표준 문서 관련 증거는 심판단계에서 제출되지 않았던 것으로, 원고가 소송단계에 이르러 새롭게 제출한 것이다.
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(5) 그렇다면 이 사건 제1항 정정발명의 우선일 당시에 통상의 기술자는, 선행발명 
1로부터 선행발명 1의 필터 블록에 형성된 입출구 포트는 그 상면과 하면에 설치되는 
유체 제어기기와 유로 블록의 포트와 접속 가능하도록 형성되어야 함을 알 수 있고, 당
시에 이미 입출구 포트가 측면에 배치되는 가스공급장치와 중앙에 배치되는 가스공급장
치가 모두 널리 사용되고 있었으므로 입출구 포트가 측면에 배치되는 가스공급장치에 
사용되는 선행발명 1의 필터 블록을 입출구 포트가 중앙에 배치되는 가스공급장치에 사
용될 수 있도록 설계 변경할 동기도 충분하며, 이를 위하여 ‘측면에 배치된 입출구 포트’
의 위치를 중앙으로 배치되도록 하는 설계의 변경을 손쉽게 시도할 수 있을 것으로 보
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인다. 나아가 아래에서 보는 바와 같이, 입출구 포트의 위치를 중앙으로 변경하는 것은 
다른 구조의 중대한 변경을 수반하지 않고, 비교적 간단한 설계변경만으로 가능하다. 

(6) 차이점 1 관련 피고 주장에 대한 판단
(가) 피고는, 원고가 제시한 표준들은 가스 장치의 하부 표면에 관한 것일 뿐인데, 
이 사건 정정발명은 가스 장치 자체가 아닌 로우 프로파일 필터에 관한 것이므로 위 표
준들의 존재는 차이점 1과는 관련이 없다는 취지로 주장한다. 
그러나 앞서 본 표준들은 가스 장치의 하부 표면의 포트의 배치와 치수 등을 표
준화하여 인접 구성 부품들과의 호환을 용이하게 하기 위한 것으로, 선행발명 1과 이 사
건 정정발명은 모두 가스 장치의 하부 표면에 결합되어 사용되는 부품들이므로 위 표준 
규격을 채택한 가스 장치와의 호환을 위하여 위 표준이 정한 포트의 배치와 치수 등을 
따를 수밖에 없다. 피고의 위 주장은 받아들이지 않는다. 
(나) 피고는 ‘선행발명 1이 해결하고자 하는 과제는 가스 공급 유닛 내에서 필터의 
배치를 변경하는 것이 번거롭고 시간이 많이 걸린다는 단점을 해결하는 것이고, 이를 위
해 선행발명 1의 필터 블록의 포트들을 좌우 대칭되게 배치함으로써 상하좌우의 제약 
없이 필터 블록이 상하 반전되어 장착될 수 있게 구성한 것이 주요 특징이므로, 선행발
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명 1의 입출구 포트를 중앙으로 배치하도록 설계를 변경하는 것은 선행발명 1의 기술적 
과제에도 반하고 본래의 기술적 의미를 잃게 한다’는 취지로 주장하나, 다음과 같은 이
유로 피고의 주장은 이유 없다. 
① 선행발명 1의 아래 기재에 의하면, 선행발명 1이 문제로 인식한 ‘필터의 배치 
변경이 번거롭고 시간이 많이 걸리는 이유’는, 종래 가스공급유닛에 관한 아래의 도면 
15에서 보는 바와 같이, ‘필터 104를 원래의 위치(입력 밸브 105의 상류 측)에서 다른 
위치(레귤레이터 102의 상류 측)으로 변경하고자 하는 경우 레귤레이터 102, 압력계 
103, 필터 104를 원래 설치되어 있던 유로 블록(110 내지 113)에서 모두 분리한 후 레
귤레이터 102와 압력계 103을 하류 쪽으로 옮겨 유로 블록 111 내지 113에 다시 접속
한 후에 필터 104를 유로 블록 110, 111에 접속하는 등의 번거로운 과정을 거쳐야 하기 
때문’이고, 이는 종래의 가스공급장치가 필터를 하나의 칼럼으로 구성한 것에서 기인하
는 문제이다. 따라서 위 문제점은 필터를 종래의 가스공급유닛에서와 같이 ‘하나의 칼럼
으로 구성’하는 것을 선행발명 1에서와 같이 ‘가스 장치와 유로 블록 사이에 개재하는 
형태의 필터 블록’의 구성으로 변경함으로써 해결되는 것이지, ‘필터 블록의 포트들을 좌
우 대칭되도록 배치’함으로써 해결되는 것이 아니다. 따라서 종래의 가스공급유닛이 가
지는 위 문제를 해결하기 위하여 선행발명 1이 ‘필터 블록의 포트들을 좌우 대칭되도록 
배치’하였다는 피고의 주장은 받아들이지 않는다. 
선행발명 1(갑 제7호증)
[0009] 가스 공급 유닛 100은 필터 104의 배치 변경이 번거로왔다. 즉 예를 들면 필터 104의 
배치를 입력 밸브 105의 상류 측에서 레귤레이터 102의 상류측에 배치 변경할 경우, 종래의 
가스 공급 유닛 100에서는 레귤레이터 102와 압력계 103과 필터 104를 유로 블록 110~113
에서 각각 분리, 레귤레이터 102와 압력계 110을 하류 측에 늦추어 유로 블록 111~113에 접
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② 선행발명 1에는 아래와 같이 필터 블록이 상하 방향의 설치가 제한되지 않는
다거나, 거꾸로 뒤집혀 설치될 수 있다는 취지로 기재되어 있기는 하나, 이는 ‘필터 블록
의 상면의 포트와 하면의 포트가 같은 위치에 배치되어 있기 때문’이라고 설명하고 있으
므로, 선행발명 1의 필터 블록의 상하면의 입출구 포트를 모두 중앙으로 배치되도록 변
경하더라도 상하면의 같은 위치에 입출구 포트가 배치되게 되므로, ‘상하 방향의 설치가 
제한되지 않는다’거나 ‘거꾸로 뒤집혀 설치될 수 있다’는 효과를 잃게 되는 것은 아니다. 
나아가 선행발명 1의 위와 같은 효과(제약 없이 상하 반전을 할 수 있는 효과)에 관한 
기재는 선행발명 1의 실시예 중 ‘평판형 필터’가 사용된 필터 블록의 실시예(선행발명 1
의 제1 실시형태)에 한정된 것이고, 이 사건 제1항 정정발명과 동일하게 ‘튜브형 필터’가 
사용된 필터 블록의 실시예(선행발명 1의 제2 실시형태)에 관한 것이 아니므로, 이 사건 
제1항 정정발명과 관련성이 떨어지는 선행발명 1의 일부 실시예에 한정된 위 효과의 기
재를 근거로 이 사건 제1항 정정발명의 용이 도출 가능성을 부정할 수 없다. 
속한 후에 필터 104를 유로 블록 110,111에 
접속함으로써, 레귤레이터 102와 압력계 103
과 필터 104와의 순서를 정렬할 필요가 있
고, 배치 변경에 많은 시간이 소요된다.
[0055] 그리고 필터 블록 20은 유체 제어 기
기 1~4와 유로 블록 11~15 사이에 배치되므
로, 유체 제어 기기 1~4의 순서를 정렬하지 
않고 간단하게 배치 변경할 수 있다.
[0040] 한편, 필터 블록 20의 하면에는 포트 21, 22의 바로 밑에 포트 23, 24가 마련되어 있
다. 따라서 포트 23, 24는 필터 블록 2의 하면에서의 가스 공급 유닛 10의 길이 방향(도면중 
좌우방향)에 대해서 중점에서 B만큼 떨어진 위치에 좌우 대칭으로 마련되어 있다. 따라서, 필
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(다) 피고는, 선행발명 1의 입출구 포트의 배치를 중앙으로 변경하는 경우 입출구 
포트가 측면에 배치되는 경우에 비하여 필터의 처리 면적이 줄게 되므로 통상의 기술자
가 포트의 위치를 측면에서 중앙으로 변경하는 것은 쉽지 않다고 주장한다. 그러나 필터
터 블록 20은 포트 21, 22와 포트 23, 24가 상면과 하면의 같은 위치에 마련되어 있으므로, 
상하 방향의 설치를 제한되지 않는다. 또한, 포트 23,24 개구부에는 도시하지 않는 가스켓을 
끼워 넣기 위한 숄더 부분이 형성되어 있다.
[0053] 필터 블록(20)은 나사 구멍(31)이 상면과 하면의 대응 위치에 위치하며, 포트(21, 22)와 
포트(23, 24)도 상면과 하면의 대응 위치에 위치한다. 따라서, 필터 블록(20)은 도 1에 도시된 
방향에서 거꾸로 뒤집힐 수 있다. 차단 밸브(4)에 대해서는 도 8에 도시된 바와 같이 차단 밸
브(4)와 유로 블록(14, 15) 사이에 고정될 수 있다. 이때, 필터블록(20)의 포트(23)는 차단밸브
(4)의 출구포트(33)와 결합되고, 반면 포트(21)는 배관블록(15)과 결합된다. 따라서, 필터엘리먼
트(26)는 차단밸브의 하류에 위치하게 된다. 이 경우, 질량 유량 제어기(5)에 들어가기 직전에 
공급 가스를 필터링하여 불순한 성분을 제거한다. 이에 따라, 질량 유량 제어기(5)가 막히는 
것을 방지할 수 있다. 
[0054] 수동 밸브(1)와 압력 변환기(3)는 레귤레이터(2)의 위치와 동일한 위치에 설치 구멍(31), 
입구 포트(32) 및 출구 포트(33)가 저부 표면에 제공될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 필터 
블록(20)의 배치는 수동 밸브(1)와 유로 블록(11 및 12) 사이(도 10 참조) 또는 압력 변환기(3)
와 유로 블록(13 및 14) 사이(도 11 참조)로 변경될 수 있다. 또한, 필터 블록(26)는 공급 가스
의 흐름에서 수동 밸브(1) 또는 압력 변환기(3)의 상류 및 하류에 선택적으로 장착될 수 있다. 
[0055] 결과적으로, 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10에 의하면 필터 블록 20을 유체 제어 
기기 1~7과 유로 블록 11~15 사이에 마련함으로써(도 1 참조), 종래 유체 제어 기기로서 유
로 블록 112 ,113에 접속되어 있던 필터 104(도 15 참조)를 제거하고 이에 따라 필터 104에 
접속되어 있던 2개의 유로 블록 112, 113 중 하나를 제거했기 때문에, 전장을 짧게하여 유닛 
전체를 콤팩트하게 할 수 있는 것과 동시에, 부품수 등을 줄여 중량을 경량화할 수 있다. 그
리고 필터 블록 20은 유체 제어 기기 1~4와 유로 블록 11~15 사이에 배치되므로, 유체 제어 
기기 1~4의 순서를 정렬하지 않고 간단하게 배치 변경할 수 있다.
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의 처리 면적이 다소 줄더라도 수요자가 원하는 조건을 충족하는 필터 블록을 제조, 공
급하는 것이 불가능하지 않고, 입출구 포트가 중앙에 배치되는 가스 장치에 사용되는 용
도의 필터 블록에 관한 수요가 존재하는 이상 입출구 포트가 중앙에 배치되는 필터 블
록을 제조할 필요가 있으므로, 필터의 처리 면적이 감소한다는 사정은 포트의 위치를 중
앙으로 변경하는 데 방해 요소가 된다고 볼 수 없다. 또한 입출구 포트를 중앙으로 배치
하더라도 원통형의 필터 공동을 반드시 중앙으로 배치할 필요는 
없으므로, 그 공동을 옆으로 치우친 형태로 변경하는 것이 가능
하고(우측 도면 참조), 이 경우 필터의 처리 면적이 감소하지 않
는다. 
나) 차이점 2
다음과 같은 이유로, 통상의 기술자는 선행발명 1에 선행발명 2의 필터가 조립되는 
구성을 결합하여 차이점 2를 쉽게 극복할 수 있다고 봄이 타당하다.
(1) 차이점 2는 어댑터[링 플레이트]가 배치되는 위치에 차이가 있는 것이다. 즉 이 
사건 제1항 정정발명의 어댑터는 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 필터 사이에 배
치되는 것인 반면, 선행발명 1의 링 플레이트는 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부의 
반대편과 필터 엘리먼트 사이에 배치되는 점에서 차이가 있다. 
(2) 선행발명 2에는 유로 블록의 측방에서 필터 공동 내에 필터가 옆으로 삽입되고 
필터가 환상판(링 플레이트)을 통해 필터 공동에 끼워 넣어지며 필터 공동의 개구가 덮개
에 의해 닫히는 구성이 개시되어 있고, 이와 관련하여 필터가 필터 공동에 삽입되는 위치에 
따라 선행발명 1에서와 같은 ‘링 플레이트(가스킷)가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부의 
반대편과 필터 사이에 배치되는 구조를 가지는 유로 블록(선행발명 2의 도 16)’과, 이 사건 
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제1항 정정발명에서와 같은 ‘링 플레이트(가스킷)가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 
필터 사이에 배치되는 구조를 가지는 유로 블록(선행발명 2의 도 7)’이 모두 개시되어 있다. 
선행발명 2의 명세서(갑 제8호증)
[0056] 다음, 유량을 확보하기 위한 필터 내장의 유로 블록에 대해 도 7에 도시된 다른 예를 
설명한다. 도 7은 필터 내장의 유로 블록을 나타낸 단면도이다. 이것은 전술한 것과는 달리 
유로 블록 90의 측방에서 열린 필터 공동 92 내에 금속 필터 91을 옆에서 삽입하도록 한 
것이다. 이 금속 필터 91은 원통의 일단을 둘러싼 형상을 한 것이며 반대의 개방단에 고정된 
환상판 93을 필터 공동 92에 끼워 넣고, 도시한 바와 같이 위치가 결정되고 있다. 그리고 필
터 공동 92 개구가 덮개 94에 의해 닫혀 포트 95, 96 사이에 금속 필터 91을 배치한 유로 블록 
90이 구성되어 있다. 이에 따라, 포트 95를 통해 블록 90내부로 전달된 가스는 개방단 91a
을 통해 필터 91의 중앙 중공 91b으로 유입된 후 필터 91를 통과하여 필터 91의 외부로 
유출된다.
[0065] 또한, 도 15는 도 1과 동일한 형상의 필터를 적용한 유로 블록의 다른 예를 도시한다. 
이 예에서 도 7과 동일한 형상의 필터가 도 7과 다른 방향으로 삽입된다. 도 16은 도 15의 
블록의 단면도이다. 이 예에서, 필터 25는 도 7의 필터 91와 마찬가지로 폐쇄 단부와 개방 
단부를 갖는 중공 원통형 형상을 갖는다. 그러나, 필터 91와는 달리, 이 필터 25는 개방 단
부로부터 유로 블록 24의 필터 공동 92'으로 삽입되고, 필터 공동 92'의 개구에 끼워진 덮
개 94'에 의해 블록 24의 측면에서 제 위치에 위치된다. 도 7의 필터 91의 경우와 마찬가지
로, 블록 24로 유입된 가스는 개방단을 통해 필터 25의 중앙 중공으로 유입되어 필터 25를 
통과하여 외부로 유출된다. 필터 25의 개방단과 유로 블록 24의 필터 공동 92' 사이에는 
개스킷 26이 개재되어 필터 25와 블록24 사이의 간극으로부터 가스가 누출되는 것을 방지
한다.
- 31 -
(3) 선행발명 1과 선행발명 2는 모두 가스 공급장치에 관한 기술로 그 기술분야가 
동일하고, 소형의 경량인 가스 공급장치를 제공하고자 하는 것으로 기술적 과제도 공통
되며, 위 기술적 과제를 해결하기 위하여 선행발명 1은 ‘필터 공동 내에 필터가 옆으로 
삽입되고 필터가 환상판(링 플레이트)을 통해 필터 공동에 끼워 넣어지며 필터 공동의 개
구가 덮개에 의해 닫히는 구성’이 채택된 필터 블록이 가스 장치와 유로 블록 사이에 개재
되도록 하는 수단을 채택하고, 선행발명 2는 ‘필터 공동 내에 필터가 옆으로 삽입되고 필
터가 환상판(링 플레이트)을 통해 필터 공동에 끼워 넣어지며 필터 공동의 개구가 덮개에 
의해 닫히는 구성’을 유로 블록 내에 배치하는 수단을 채택하였다는 점에서, 과제 해결 수
단으로 채택된 구성도 유사하다. 
(4) 앞에서 본 바와 같이 선행발명 2에는 유로 블록 내에 설치된 각 유로와 그 입출력 
포트의 위치 등은 동일하고 다만 링 플레이트의 배치 순서만 다른 두 개의 실시예, 즉 선행
발명 1에서와 같은 ‘링 플레이트(가스킷)가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부의 반대편과 
필터 사이에 배치되는 구조’를 가지는 유로 블록(선행발명 2의 도 16)과, 이 사건 제1항 정
정발명에서와 같은 ‘링 플레이트(가스킷)가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 필터 사이
[도 7] 필터가 내장된 다른 유로 블록이 측면 
또는 수평 방향으로 삽입된 단면도
[도 16] 도 15의 유로 블록의 평면도
- 32 -
에 배치되는 구조’를 가지는 유로 블록(선행발명 2의 도 7)이 모두 개시되어 있으므로, 통상
의 기술자는 선행발명 2에 개시된 위 두 가지 실시예를 참조하여 선행발명 1의 ‘링 플레이
트가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부의 반대편과 필터 엘리먼트 사이에 배치되는 구조’
를 선행발명 2의 도 7에 개시된 ‘링 플레이트(가스킷)가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부
와 필터 사이에 배치되는 구조’로 변경하는 것을 어렵지 않게 생각해 낼 수 있을 것으로 보
인다. 
(5) 선행발명 2에 개시된 위 두 실시예 중 도 16의 배치 구조를 도 7의 배치 구조로 변
경하는 것은, 필터 엘리먼트가 삽입되는 부분(필터 공동의 개방 단부)의 위치만을 변경하기 
위하여 수반되는 사소한 변경에 불과하다. 
구체적으로 덮개의 위치 및 필터가 삽입되는 좌측 부분의 공동의 크기가 확대되도록 
변경되어야 하는데, 이는 필터 삽입 위치의 변경에 수반하는 것이고, 필터 엘리먼트를 링 플
레이트 자체에만 지지되도록 변경되어야 하는데 이것 역시 덮개가 필터 엘리먼트의 끝단이
랑 맞닿아 있던 구조에서 그 반대편으로 위치를 변경함에 따른 것으로(덮개가 필터 엘리먼
트의 끝단에서 필터 엘리먼트를 압착함으로써 링 플레이트와 함께 필터 엘리먼트를 필터 공
동에 지지하던 구조에서 필터 엘리먼트의 끝단의 반대편으로 옮겨짐에 따라 필터 엘리먼트
를 압착하는 기능을 수행하지 못하게 되는 변경을 의미한다), 위 각 구조의 변경은 선행발명 
1에 개시된 다른 구성들을 대폭적으로 변경하는 것이 아니고, 단지 필터의 삽입 위치를 변
경하기 위하여 흔하게 사용되는 단순한 설계 변경 사항에 불과하다. 또한 위와 같은 구조의 
변경에 필요한 모든 구성은 선행발명 2의 도 7에 개시되어 있기도 하다. 
위와 같은 구조로의 변경으로 인한 효과의 차이 역시 필터의 삽입 위치가 변경되는 것
을 넘어서는 현저한 차이가 있다고 할 수 없고, 선행발명 1에 선행발명 2에 개시된 ‘링 플레
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이트(가스킷)가 필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 필터 사이에 배치되는 구조’를 결합하
는 것을 저해하는 기재도 없다. 
4) 소결론
이 사건 제1항 정정발명과 선행발명 1의 차이점들은 선행발명 1에 선행발명 2를 
결합하여 쉽게 도출할 수 있으므로, 이 사건 제1항 정정발명은 그 진보성이 부정된다.
나. 이 사건 제1항 정정발명의 종속항들의 진보성 여부
1) 이 사건 제5항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제5항 정정발명은 이 사건 제1항 정정발명의 종속항으로, 어댑터가 필터 
공동의 표면에 결합되어 억지끼워 맞춤 밀봉부를 형성하는 것을 추가로 한정한 것인
데, 억지끼워맞춤은 밀봉부를 형성하는데 흔히 사용되는 주지관용기술이고, 선행발명 
1, 2에는 환상판을 필터 공동에 끼워넣어 그 위치를 결정하게 한다는 내용이 개시되
어 있으므로(선행발명 1의 문단번호 [0060], 선행발명 2의 문단번호 [0056], 도 7 참
조), 이 사건 제5항 정정발명의 추가 한정된 구성은 선행발명 1, 2에 개시되어 있기
도 하다. 따라서 이 사건 제5항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보
성이 부정된다.
2) 이 사건 제8항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제8항 정정발명은 이 사건 제1항 정정발명의 종속항으로, 입구는 필터 
하우징의 저부에, 출구는 상부에 있는 것을 추가로 한정한 것인데, 선행발명 1에는 ‘제
1 유로가 필터블록의 제1 측부(하면)의 입구를 필터 공동의 제1 섹션에 연결하도록 형
성되어 있고, 제2 유로가 필터블록의 제2 섹션을 필터블록의 제2 측부(상면)의 출구에 
연결하도록 형성되어 있으며, 제1 측부와 제2 측부가 필터 블록에서 서로 반대되는 
- 34 -
면’인 구성이 모두 개시되어 있으므로(선행발명 1의 도 4, 13 참조), 이 사건 제8항 정정
발명의 추가 한정된 구성은 선행발명 1에 개시되어 있다. 따라서 이 사건 제8항 정
정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
3) 이 사건 제9항 내지 제11항 정정발명의 진보성 여부
① 이 사건 제9항 정정정발명은 이 사건 제8항 정정발명의 종속항으로, 제1, 2 관
통 유로 개구가 필터 하우징 상부의 관통 유로 입구 및 저부의 관통 유로 출구인 것을, 
② 이 사건 제10항 정정발명은 이 사건 제1항 정정발명의 종속항으로 입구와 출구가 
필터 하우징의 상부와 저부에 있는 것을, ③ 이 사건 제11항 정정발명은 이 사건 제10
항 정정발명의 종속항으로 제1, 2 관통 유로 개구는 필터 하우징 저부의 관통 유로 입구, 
상부의 관통 유로 출구인 것을 각 추가로 한정한 것인데, 선행발명 1의 도 4 및 도 13에
는 이 사건 제9항 내지 제11항 정정발명의 위 각 추가 한정된 구성들이 모두 개시되어 
있으므로, 이 사건 제9항 내지 제11항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 
그 진보성이 부정된다. 
선행발명 1의 [도 4] 선행발명 1의 [도 13]

4) 이 사건 제17항, 제18항 및 제21항 정정발명의 진보성 여부
- 35 -
이 사건 제17항 정정발명은 제1항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 필터 조립체는, 
제1 필터를 포함하고 제1 필터 공동내에 배치되는 제1 필터 조립체이며, 상기 로우 
프로파일 필터는, 제2 필터를 포함하는 한편, 상기 필터 하우징에 형성된 제2 필터 
공동 내에 배치되어 제2 필터 공동을 서로 인접한 섹션들로 분할하는 제2 필터 조립
체를 더 포함하는 것인 로우 프로파일 필터’를 추가로 한정한 것이다. 위 추가 한정 
구성은 로우 프로파일 필터가 제2 필터를 포함하는 제2 필터 조립체를 추가로 가진
다는 것인데, 선행발명 1의 필터 블록에 형성된 필터 조립체 외에 추가로 동일한 구
성의 필터 조립체를 형성하는 것은 주지관용 기술에 해당하고, 통상의 기술자가 그 
필요에 따라 어렵지 않게 추가할 수 있는 단순한 설계변경사항에 해당한다. 따라서 
이 사건 제17항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
이 사건 제18항 정정발명은 제17항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 제1 필터 조립
체는, 제1 필터에 결합되고 제1 필터 공동의 표면에 대해 밀봉되는 제1 어댑터를 더 
포함하며, 상기 제2 필터 조립체는, 제2 필터에 결합되고 제2 필터 공동의 표면에 대
해 밀봉되는 제2 어댑터를 더 포함하는 것인 로우 프로파일 필터’를 추가로 한정한 
것이다. 위 추가 한정 구성은 추가된 제2 필터 조립체에 어댑터를 추가한 것에 불과
하고, 어댑터와 동일한 구성은 선행발명 1, 2에 모두 개시되어 있으므로 선행발명 1, 
2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
이 사건 제21항 정정발명은 제18항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 제1 유로는 상
기 입구에서부터 상기 제1 필터 공동의 제1 섹션 및 제2 필터 공동의 제1 섹션에 이
르게 되며, 상기 제2 유로는 제1 필터 공동의 제2 섹션에서부터 상기 출구에 이르게 
되고, 상기 필터 하우징은 제2 필터 공동의 제2 섹션에서부터 상기 출구에 이르는 제
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3 유로를 형성하며, 상기 입구는 상기 필터 하우징의 저부에 있고 상기 출구는 상기 
필터 하우징의 상부에 있는 것인 로우 프로파일 필터’를 추가로 한정한 것이다. 위 
추가 한정 구성은 추가된 제2 필터 조립체에 상응하여 유로를 추가로 형성한 것을 
특징으로 하고, 위와 같이 추가로 형성된 유로와 동일한 구조의 유로가 선행발명 1에 
개시되어 있으므로, 이 사건 제21항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 
진보성이 부정된다.
5) 이 사건 제22항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제22항 정정발명은 이 사건 제21항 정정발명의 종속항으로, 제1, 2 관통 
유로 개구는 필터 하우징 상부의 관통 유로 입구, 저부의 관통 유로 출구인 것으로 추가 
한정한 것으로, 이와 동일한 구성이 선행발명 1에 개시되어 있으므로, 이 사건 제22항 
정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
6) 이 사건 제23항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제23항 정정발명은 이 사건 제18항 정정발명의 종속항으로, 제1 유로는 
입구에서부터 제1 필터 공동의 제1 섹션 및 제2 필터 공동의 제1 섹션에 이르게 되고, 
제2 유로는 제1 필터 공동의 제2 섹션에서부터 출구에 이르게 되고, 필터 하우징은 
제2 필터 공동의 제2 섹션에서부터 출구에 이르는 제3 유로를 형성하며, 입구는 필터 
하우징의 상부에 있고 출구는 필터 하우징의 저부에 있는 것을 추가로 한정하는 것으
로, 선행발명 1의 포트(21, 23)가 각각 필터블록의 상, 하면에 위치하고(도 4, 13 참
조), 앞서 본 바와 같이 제2 필터가 추가되고 이에 따라 형성되는 유로 및 입출구의 
구조가 제1 필터를 중심으로 형성된 유로 및 입출구의 구조와 동일하므로, 그 구성에 
곤란성이 있다고 보기 어렵다. 따라서 이 사건 제23항 정정발명은 선행발명 1, 2의 
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결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
7) 이 사건 제24항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제24항 정정발명은 이 사건 제23항 정정발명의 종속항으로, 제1, 2 관통 
유로 개구는 필터 하우징 저부의 관통 유로 입구, 상부의 관통 유로 출구인 것으로 
추가 한정한 것인데, 이와 동일한 구성이 선행발명 1에 개시되어 있으므로 선행발명 
1, 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
다. 이 사건 제26항 정정발명과 그 종속항들의 진보성 여부
1) 이 사건 제26항 정정발명의 진보성 여부
가) 이 사건 제26항 정정발명의 구성요소를 선행발명 1과 대비하면 아래와 같다. 
이 사건 제26항 정정발명 선행발명 1
구성
요소 
1
로우 프로파일 필터를 이용하여 가스를 여과하는 
방법으로서:,
필터를 이용하는 가스 여과 방법
구성
요소 
2
필터를 기판에 장착하는 단계;
상기 필터에 단일 표면 장착 가스 장치를 장착
하는 단계;
단일체의 재료 블록으로 형성된 필터 하우징의 입
구에서부터 수평한 제1 필터 공동으로 가스를 안
내하는 단계로, 상기 제1 필터 공동은 필터 하우
징의 외부 표면에 밀봉 가능한 개방 단부를 포함
하는 단계;
- 필터블록(26)은 단일체의 재료 블록
으로 형성(도 1),
- 필터블록이 표면 장착 기판과 레귤레
이터(2)와 같은 하나의 장치 사이에 
장착
- 복수의 유동 경로 및 필터 공동(25)이 
내부에 형성된 필터블록(26)(도 4)
- 필터블록(50)의 외부 표면에 밀봉 가
능한 개방 단부를 포함
구성
요소 
3
가스가 상기 가스 장치를 통과하기 전 또는 후에 
여과되도록, 가스를 수평한 방향으로 제1 필터 조
립체 안으로 유입하여 어댑터 및 제1 필터를 통
해 흐르게 하여 가스를 여과하는 단계로, 상기 
어댑터는 상기 제1 필터 공동 내부에서 상기 제1 
- 필터 공동 내 필터 엘리먼트가 환상
판에 의하여 필터 공동에 끼워 넣어
지고 필터 공동 개구부가 덮개에 의
- 38 -
나) 이 사건 제26항 정정발명과 선행발명 1의 차이점은 어댑터의 형성 위치 및 입출
구가 중앙에 배치되는지 여부에서만 차이가 있고, 그 구체적인 차이는 이 사건 제1항 정
정발명과 선행발명 1 사이의 차이와 동일하다. 따라서 이 사건 제26항 정정발명은 이 
사건 제1항 정정발명의 진보성이 부정되는 것과 동일한 이유로 선행발명 1, 2의 결합
에 의하여 그 진보성이 부정된다. 
2) 이 사건 제31항 정정발명의 진보성 여부
필터 공동의 밀봉 가능한 개방 단부와 제1 필터 
사이에 배치되며 제1 필터 및 제1 필터 공동의 표
면과 결합되고 제1 필터를 통한 흐름을 허용하도
록 구성된, 단계;
상기 제1 필터 공동에서부터 필터 하우징의 출구
로 가스를 안내하는 단계; 및
여과 전에 상기 가스를 상기 기판으로부터 관통 
유로를 통해 상기 단일 가스 장치로 안내하거나, 
여과 후에 상기 가스를 상기 단일 가스 장치로부
터 상기 관통 유로를 통해 상기 기판으로 안내하
는 단계를 포함하며,
해 닫혀지며, 환상판-필터 엘리먼트-
덮개 순서로 배열됨
구성
요소 
4
상기 관통 유로는 필터의 제1 측부 상의 제1 관
통 유로 개구로부터 필터의 제2 측부 상의 제2 
관통 유로 개구로 연장하며, 상기 제1 측부와 제2 
측부는 상기 필터에 있어서의 서로 반대되는 측
부들이고, 상기 입구 및 상기 출구는 각각 상기 
제1 측부 및 제2 측부의 중앙에 배치되고, 상기 
제1 관통 유로 개구 및 상기 제2 관통 유로 개구
는 상기 입구 및 출구로부터 간격을 두고 배치되
고, 상기 제1 필터는 튜브 필터인, 가스 여과 방
법.
- 포트들(21~24)은 하부 유로블록과 
상부 처리유닛의 해당 포트들과 인
터페이싱하도록 구성 
- 포트(22, 24)를 연결하는 유로는 포트
(21, 23)과 간격을 두고 형성
- 필터 엘리먼트는 튜브 형상
- 39 -
이 사건 제31항 정정발명은 이 사건 제26항 정정발명의 종속항으로, 입구에서부터 
수평한 제2 필터 공동으로 가스를 안내하는 단계; 및 가스를 여과하도록 가스를 수평한 
방향으로 제2 필터 조립체 안으로 유입하여 제2 필터를 통해 흐르게 하는 단계; 및 제2 
필터 공동에서부터 필터 하우징의 출구로 가스를 안내하는 단계를 더 포함하는 것으로 
추가 한정하고 있는데, 선행발명 1에는 위 추가 한정 구성과 동일한 방법으로 가스가 
흐르도록 형성된 유로의 구성이 개시되어 있으므로(도 4, 13 참조), 위 추가 한정 구성은 
선행발명 1에 개시되어 있다고 보는 것이 타당하다. 따라서 이 사건 제31항 정정발명은 
선행발명 1, 2의 결합으로부터 그 진보성이 부정된다.
라. 이 사건 제35항 정정발명과 그 종속항들의 진보성 여부
1) 이 사건 제35항 정정발명의 진보성 여부
가) 이 사건 제35항 정정발명의 구성요소와 선행발명 1을 대비하면 아래와 같다.
이 사건 제35항 정정발명 선행발명 1
구성
요소 
1
로우 프로파일 필터를 제조하는 방법으로서: 필터 제조 방법
구성
요소 
2
상부면 및 저부면을 갖는 필터 하우징을 단일체의 재
료 블록으로 형성하는 단계;
- 필터블록(26)은 단일체의 재
료 블록으로 형성(도 1),
구성
요소 
3
상기 필터 하우징 내에, 사용시에 수평 방향으로 배향
되는 필터 공동을 기계 가공하는 단계로, 상기 필터 
공동은 필터 하우징의 외부 표면에 밀봉 가능한 개방 
단부를 포함하는, 단계;
- 필터 블록 내 개방 단부를 포
함하는 필터 공동이 형성되
어 있음(도 14)
구성
요소 
4
상기 필터 하우징 내에 필터 하우징의 제1 측부 상의 
입구에서부터 필터 공동까지 연장하는 제1 유로를 기
계 가공하고, 상기 필터 하우징 내에 상기 필터 공동
에서부터 상기 필터 하우징의 제2 측부 상의 출구에 
이르는 제2 유로를 기계 가공하는 단계로서, 상기 제1 
- 포트들(21~24)은 하부 유로
블록과 상부 처리유닛의 해
당 포트들과 인터페이싱하
도록 구성 
- 제1 유로(28)가 필터블록의 제
- 40 -
측부와 제2 측부는 상기 필터 하우징에 있어서의 서
로 반대되는 측부들인 것인, 제1 및 제2 유로를 기계 
가공하는 단계;
제1 관통 유로 개구 및 제2 관통 유로 개구를 갖는 관
통 유로를, 상기 필터 하우징의 제1 측부에서부터 상
기 필터 하우징의 제2 측부까지 연장하고 상기 필터 
공동을 우회하게 형성하는 단계로서, 상기 입구 및 상
기 출구는 각각 상기 제1 측부 및 제2 측부의 중앙에 
배치되고, 상기 제1 관통 유로 개구 및 상기 제2 관통 
유로 개구는 상기 입구 및 출구로부터 간격을 두고 
배치되고 상기 입구, 상기 출구, 상기 제1 관통 유로 
개구 및 상기 제2 관통 유로 개구는 상기 단일 표면 
장착 기판 및 단일 가스 장치의 해당 포트들과 인터
페이싱하도록 구성되고 서로 간격을 두고 배치되는 
것인, 관통 유로를 형성하는 단계;
1 측부(하면)의 입구(21)를 필
터 공동의 제1 섹션에 연결
하도록 형성되어 있고, 제2 유
로가 필터블록의 제2 섹션을 
필터블록의 제2 측부(상면)의 
출구에 연결하도록 형성되어 
있으며, 제1 측부와 제2 측부
가 필터 블록에서 서로 반대되
는 측부인 구성(도4)
- 포트(22, 24)를 연결하는 유
로는 필터 공동을 우회하도
록 형성
- 포트(22, 24)를 연결하는 유
로는 포트(21, 23)와 간격을 
두고 형성
- 필터 엘리먼트는 튜브 형상
구성
요소 
5
필터를 어댑터에 결합하는 것을 포함하며, 이 어댑터
는 상기 필터 공동 내부에서 상기 필터 공동의 밀봉 
가능한 개방 단부와 필터 사이에 배치되며 필터 공동
의 표면에 대해 밀봉되고 필터를 통한 흐름을 허용하
도록 구성된 것인 필터 조립체를 형성하는 단계와,
상기 제1 유로가 필터 공동으로 들어가게 되는 제1 
섹션과, 상기 제2 유로가 필터 공동으로 들어가게 되
는 제2 섹션으로 이루어진 인접한 섹션들로 상기 필
터 공동을 분할하도록 필터 공동의 표면에 대해 필터 
조립체를 밀봉하는 단계를 포함하고, 상기 필터는 튜
브 필터인, 로우 프로파일 필터 제조 방법
- 필터 공동 내 필터 엘리먼트
가 환상판에 의하여 필터 공
동에 끼워 넣어지고 필터 공
동 개구부가 덮개에 의해 닫
혀지며, 환상판-필터 엘리먼트
-덮개 순서로 배열됨
- 필터 엘리먼트는 튜브 형상
- 필터 엘리먼트가 필터 공동 
내에 배치되고, 필터 공동이
(55)이 제1 섹션과 제2섹션으
로 분할되는 구성
- 41 -
나) 이 사건 제35항 정정발명과 선행발명 1은 어댑터의 형성 위치 및 입출구가 중앙
에 배치되는지 여부에서만 차이가 있고, 그 구체적은 내용은 이 사건 제1항 정정발명과 
선행발명 1 사이의 차이점과 동일하다. 따라서 이 사건 제35항 정정발명은 이 사건 제1
항 정정발명의 진보성이 부정되는 것과 같은 이유로 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 
그 진보성이 부정된다. 
2) 이 사건 제39항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제39항 정정발명은 이 사건 제35항 정정발명의 종속항으로, 필터가 금속 
튜브 필터이고, 어댑터가 스테인레스강 어댑터이며, 필터를 어댑터에 결합하는 단계는 
필터를 어댑터에 용접하는 것으로 추가 한정한 것이다. 
선행발명 1에 금속제의 필터 엘리먼트가 개시되어 있다(문단번호 [0041] 참조). 
선행발명 1, 2에 어댑터의 소재, 필터와 어댑터의 구체적인 결합 방법이 개시되어 
있지는 않지만, 반도체 제조에 사용되는 가스가 금속에 대한 부식성이 강하여 반도체 
제조 공정에 사용되는 가스 공급장치와 필터 등 관련 부품들이 주로 스테인레스강으
로 제조된다는 것은 당해 기술상식이고(갑 제25호증의 1 내지 16 참조), 필터를 어댑
터나 하우징에 용접을 통해 결합하는 기술 역시 이 사건 정정발명의 우선일 이전에 
널리 사용되어 오던 주지관용기술이므로(갑 제27호증의 1 내지 18 참조), 위 추가 한
정 구성의 곤란성을 인정하기 어렵다. 따라서 이 사건 제39항 정정발명은 선행발명 1, 
2의 결합으로부터 그 진보성이 부정된다.
3) 이 사건 제40항 및 제41항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제40항 정정발명은 이 사건 제35항 정정발명의 종속항으로, 밀봉은 필터 
조립체와 필터 공동의 표면 사이에 억지끼워맞춤 밀봉부를 포함하는 것으로 추가 한정된 
- 42 -
것이고, 이 사건 제41항 정정발명은 이 사건 제40항 정정발명의 종속항으로, 억지끼
워맞춤 밀봉부를 생성하기에 충분한 힘으로 상기 필터 조립체를 필터 공동 안에 압입
하여 억지끼워맞춤 밀봉부를 생성하는 것으로 추가 한정된 것인데, 선행발명 1에 필터 
공동 내 필터 엘리먼트가 환상판에 의하여 필터 공동에 끼워 넣어지는 기술 구성이 개
시되어 있고(문단번호 [0060] 참조), 통상의 기술자는 성행발명 1의 위 구성으로부터 
이 사건 제40항 및 제41항 정정발명에 추가 한정된 기술적 구성을 손쉽게 도출할 
수 있을 것으로 보이므로, 이 사건 제40항, 제41항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결
합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
4) 이 사건 제42항 정정발명의 진보성 여부
이 사건 제42항 정정발명은 이 사건 제40항 정정발명의 종속항으로, 필터 공동을 
팽창시키도록 필터 하우징을 가열하고, 필터 조립체를 냉각시키며, 필터 조립체를 
필터 공동 내에 삽입하고, 필터 하우징 및 필터 조립체를 상온으로 되게 함으로써, 
억지끼워맞춤 밀봉부를 생성하는 것을 추가로 한정한 것이다. 위 방법으로 억지끼워맞
춤 밀봉부를 생성하는 방식은 ‘열박음 방식’으로 급속 부재의 결합에 널리 사용되어 오
던 주지관용기술이므로(갑 제29호증의 1 내지 16 참조), 그 구성의 곤란성을 인정할 수 
없다. 따라서 이 사건 제42항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보성
이 부정된다.
마. 소결
이 사건 제1항, 제5항, 제8항 내지 제11항, 제17항, 제18항, 제21항 내지 제24항, 제
26항, 제31항, 제35항 및 제39항 내지 제42항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의
해 쉽게 발명할 수 있어 진보성이 부정되므로 그 등록이 무효로 되어야 한다. 이 사건 
- 43 -
심결은 이와 결론을 달리하여 위법하다. 
4. 결론
이 사건 심결의 취소를 구하는 원고의 청구는 이유 있으므로 이를 모두 인용한다.
재판장 판사 이혜진
판사 박은희
판사 권원명
- 44 -
[별지 1]
이 사건 특허발명의 주요 내용
 기술 분야
[0001] 본 발명은 일반적으로는 필터에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 로우 프로파일 표면 
장착 필터에 관한 것이다.
 배경기술 
[0002] 수많은 제조 공정에서는 비교적 고순도의 가스를 조절된 유량 및 압력으로 급송
할 필요가 있다. 예를 들면, 반도체 제조에서 가스의 순도 및 유량은 웨이퍼 상의 결함을 방
지하도록 주의하여 조절되어야 한다. 결함으로 인한 웨이퍼의 손실은 비용과 시간 모두를 
소비하게 된다.
[0003] 반도체 제조에서, 가스는 "가스 스틱(gas stick)"을 통해 처리 챔버에 제공된다. 
가스 스틱은, 필터, 밸브, 질량 유량 제어기, 압력 변환기, 또는 가스를 정화하거나 가스 
흐름을 조절하거나 가스의 특성 또는 가스 흐름의 특성을 모니터하기 위한 기타 구성 요소와 
같은 각종 구성 요소를 포함할 수 있다. 전통적으로, 그러한 구성 요소들은 각 구성 요소가 
VCR 커넥터에 의해 다음의 구성 요소에 연결되는 "일렬(in-line)" 방식으로 연결되었다. 
보다 최근 들어서, 반도체 산업은 모듈형 구조(modular architecture)로 이동하였다. 모듈형 
구조에서, 가스 구성 요소들은 모듈형 기판 블록에 장착된다. 기판 블록의 유로는 흐름을 기
판 블록들 간에 및 나아가서는 가스 구성 요소들 간에 안내한다. 모듈형 구조는 인터페이스
의 풋프린트(footprint)의 감소 및 표준화의 이점을 제공한다.
[0004] 도 1에는 모듈형 구조를 이용하는 가스 스틱(100)의 하나의 실시예가 도시되어 있
다. 도 1의 예에서, 압력 변환기(102)는 기판 블
록(104)에 장착되며, 필터(106)는 기판 블록
(108)에 장착된다. 가스 스틱(100)은 독립형 필
[도 1] 모듈형 구조 및 요구되는 기판을 갖는 
독립형 필터를 이용하고 있는 가스 스틱을 
도시한 도면
- 45 -
터(106)를 수용하도록 기판(108)을 필요로 한다. 
이 추가적인 기판(108)은 가스 스틱(100)을 보다 
길고 보다 무거우며 보다 비싸게 한다.
[0005] 적재형 필터를 이용함으로써 가스 스틱을 짧
게 하려는 여러 시도가 있어왔다. 종래의 필터는 
정화 요소가 블록의 2개의 섹션 사이에 끼여 있거
나, 정화 요소가 기판 내외로 또는 필터의 상부에 
적재된 구성 요소 내외로의 다양한 유로와 수직으로 정렬되어 있는 형태로 이루어 졌었다. 
첫 번째 형태의 필터는 필터 블록의 여러 섹션들 사이에 복수의 밀봉부를 필요로 하는 단점
이 있다. 추가적인 기계적 밀봉부는 유동 경로를 가로막고, 접수 표면(wetted surface)을 증
가시키며, 데드 스페이스를 증가시킬 수 있다. 또한, 밀봉부는 필터 블록의 섹션들의 밀봉 
표면들 간의 치수 또는 표면 다듬질의 불규칙으로 인해 누설을 초래할 수 있다. 두 번째 형태
의 필터(예를 들면, 정화 요소가 유로와 정렬되어 있는 필터)는 정화 요소를 수용하기 위한 
추가적인 높이를 요구한다.
 해결하려는 과제 
[0006] 따라서, 모듈형 기판의 풋프린트에 맞으면서 기계적 밀봉부, 가스 스틱의 길이 및 
높이를 최소화하는 로우 프로파일 필터가 필요하다.
 과제의 해결 수단 및 구체적인 내용
[0007] 본 발명의 실시예는 종래에 개발된 필터 시스템 및 방법의 단점을 실질적으로 제거 
또는 감소시키는 로우 프로파일 필터를 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 보다 구체적으
로, 본 발명의 실시예는, 모듈형 가스 패널 구조에 사용하는 로우 프로파일 필터를 제공한
다. 본 발명의 하나의 실시예는, 기판 블록 상에 장착하도록 되어 있는 한편, 복수의 유동 
경로 및 내부에 형성된 필터 공동을 구비하고 있는 필터 하우징을 포함한다. 필터 공동은 로
우 프로파일 필터가 사용 중에 있는 경우에 대체로 수평 방향으로 연장하도록 형성된다. 필
터 하우징의 입구를 필터 공동의 제1 섹션에 연결하도록 제1 유로가 형성되며, 필터 공동
의 제2 섹션을 필터 하우징의 출구에 연결하도록 제2 유로가 형성된다. 필터 및 어댑터를 
포함하는 필터 조립체가 필터 공동 내에 배치되고 필터 공동의 표면에 대해 밀봉되어, 필터 
공동을, 필터 공동의 제1 섹션 및 필터 공동의 제2 섹션을 포함하는 인접 섹션들로 분할한
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다. 다른 실시예에서, 높이를 유지하는 능력을 희생할 수 있지만 수직으로 배향된 필터가 
이용될 수 있다.
[0011] 본 발명의 실시예들은, 높이를 최소화하면서, 반도체 제조 용례를 위해 충분한 압
력 강하를 생성하고 충분한 대수 감소 값(LRV)을 갖는 표면 장착형 로우 프로파일 필터를 제
공함으로써 종래에 개발된 필터에 비해 기술적 이점을 제공한다.
[0012] 본 발명의 바람직한 실시예들은, 유동 경로 내의 밀봉부의 개수를 감소시켜, 필터 내
의 접수 표면적 및 데드 스페이스를 감소시킴으로써 다른 이점을 제공한다. 즉, 필터를 건
조시키는 데에 걸리는 시간을 감소시키고[즉, 건조 다운 타임(dry down time)을 감소시킴], 
표유 입자(stray particle)가 데드 스페이스로부터 제거되어 가스 스트림 안으로 들어갈 가능
성을 최소화할 수 있다.
[도 2] 기판 블록과 구성 요소 사이에 장착된 로우 프로파일 필터를 이용한 짧아진 가스 스틱의 실시예
[0034] 도 2에는 본 발명의 실시예에 따른 로우 프로파일 필터(210)의 일례를 갖고 있는 가
스 스틱(200)의 실시예가 도시되어 있다. 도 2의 예에서, 로우 프로파일 필터(210)는 기판 
블록(212)과 압력 변환기(214) 사이에 장착된다. 도 1에 비교하여, 하나의 기판 블록을 제
거함으로써, 가스 스틱이 짧아졌다. 추가로, 필터(210)는 필터(106)보다 현저히 짧다. 로우 
프로파일 필터(210)는 가스가 압력 변환기(214)로 흐르기 전에, 가스가 압력 변환기(214)를 
떠난 후에 또는 이들 두 경우 모두에 대해 가스를 여과하도록 구성될 수 있다.
[0035] 작동시에, 가스는 기판 블록(212)을 통해 로우 프로파일 필터(210)의 저부로 유입된
다. 이 가스는 여과되어 압력 변환기(214)로 보내지거나, 압력 변환기(214)로 보내졌다가 
기판 블록(212)으로 돌아오는 중에 여과될 수 있다. 로우 프로파일 필터(210)는 각종 기판 
- 47 -
블록에 맞도록 구성될 수 있는 것으로, K1S, K1, K1H, C-Seal, WSeal, CS-Seal 또는 당
업계에서 공지되어 있거나 개발된 기타 가스 패널 기판 블록에 부합하도록 형성될 수 있다. 
추가로, 압력 변환기(214) 외에 로우 프로파일 필터(210) 상에 장착될 수 있는 다른 구성 요
소로는 질량 유량 제어기, 디스플레이 장치, 습도 모니터, 게이지, 밸브, 확산기, 압력 조절기, 
또는 당업계에서 공지되어 있거나 개발된 기타 구성 요소가 있으며, 이들에 한정되지는 않
는다.
[도 4a] 로우 프로파일 필터를 개략적으로 도시한 도면
[0037] 도 4a 및 도 4b에는 로우 프로파일 필터(210)의 하나의 실시예가 개략적으로 도시
되어 있다. 로우 프로파일 필터(210)는 대체로 수평한 필터 공동(402)을 내부에 갖고 있는 
필터 하우징(400)을 포함한다. 필터 공동(402)은 표면(404)에서부터 시작하는 것으로만 도
시하고 있지만, 필터 조립체(430)(후술함)의 삽입을 용이하게 하도록 필터 하우징(400)의 
추가적인 외면으로부터 시작할 수 있다. 필터 하우징(400)의 상부면 및 저부면 상의 하나 
이상의 포트[예를 들면, 포트(406), 포트(408), 포트(410), 포트(412)]가 로우 프로파일 필
터(210)에 대한 입구 또는 출구로서 기능을 한다. 필터 하우징(400) 내에 형성된 유로는 가
스를 필터 공동(402) 내외로 및 입구/출구 포트 내외로 안내한다. 예를 들면, 유로(414)는 
저부 포트(406)에서부터 필터 공동(402)까지 연장하는 한편, 유로(416)는 필터 공동(402)에
서부터 상부 포트(410)까지 연장한다. 유로(418)는 저부 포트(408)와 상부 포트(412) 사이
에서 연장하는 관통 유로이다. 필터 하우징(400)은 필터 하우징(400)을 기판 블록에 연결
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할 수 있도록 여러 커넥터 홀[이들 중 하나를 도면 부호 420으로 표기함]을 더 포함할 수 
있다.
[0038] 필터 하우징(400)은 기타 재료가 사용될 수 있지만, 스테인레스강과 같이 가스 흐
름을 안내하는 데에 적합한 재료로 이루어질 수 있다. 필터 하우징(400)의 여러 특징들은 로
우 프로파일 필터(210)가 각종 기판 블록 및 구성 요소에 부합할 수 있도록 구성될 수 있
다. 예를 들면, 로우 프로파일 필터(210)는 C-Seal 구조에 부합할 수 있다. 따라서, 필터 하
우징(400)은 1.125인치의 폭과 1.125인치의 깊이를 가질 수 있으며(즉, C-Seal 기판 블록
과 대략 동일한 풋프린트를 가질 수 있음), 높이가 0.375인치일 수 있다. 이 예에서, 포
트(406)는 로우 프로파일 필터(210)에 대한 입구 포트로서 기능을 할 것이며, 포트(410)는 
로우 프로파일 필터(210)의 상부에 적재된 구성 요소에 가스를 제공하기 위한 출구 포트로
서 기능을 할 것이며(즉, C-Seal 구조에 따르면, 중앙 포트가 구성 요소의 입구 포트임), 
포트(410)는 적재된 구성 요소에 여과된 가스를 제공할 것이며, 포트(408)는 기판 블록에 
대한 출구 포트일 것이다. 따라서, 로우 프로파일 필터(210)의 상부에 적재된 구성 요소에 
대해, 필터하우징(400)은 C-Seal 기판 블록과 동일한 포트 배치를 제공할 수 있다.
[도 5] 도 4a에 따른 로우 프로파일 필터의 실시예를 절단하여 개략적으로 도시한 도면
[0041] 필터 조립체(430)가 필터 공동(402) 내에 배치되어, 그 필터 공동(402)을 대체로 
도면 부호 432 및 434로 나타낸 2개의 수평 방향으로 인접한 섹션들로 분할한다(도 5 참조). 
유로(414)는 섹션(432)에서 필터 공동(402) 안으로 들어가며, 유로(416)는 섹션(434)에서 
필터 공동 안으로 들어간다. 따라서, 입구 포트(406)에서 필터 공동(402)에 이르는 유로
[즉, 유로(414)]와 필터 공동(402)에서 출구 포트(410)에 이르는 유로가 필터 조립체(430)
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에 의해 분리된다.
[0043] 튜브 필터(438)는 필터 조립체(430)를 형성하도록 어댑터(440)에 용접 또는 기타의 
방식으로 결합될 수 있다. 필터 조립체는 필터 공동(402) 내에 삽입되어, 필터 조립체(430)
와 필터 공동(402)의 벽 사이에 밀봉부를 형성한다. 하나의 실시예에서, 밀봉부는 어댑터
(440)와 필터 공동(402)의 벽간의 억지끼워맞춤을 통해 형성된다. 이 실시예에 따르면, 어
댑터(440)의 반경 또는 외부 치수는 어댑터(440)가 필터 공동(402)의 벽에 대해 밀봉되는 
영역에서의 필터 공동(402)의 반경 또는 외부 치수보다 약간 더 크다. 예를 들면, 상온에서 
어댑터(440)는 밀봉부가 형성될 영역에서의 필터 공동(402)의 변경보다 0.0005 내지 
0.0015 인치 더 큰 반경을 가질 수 있다. 필터 조립체(430)는 프레스를 이용하여 필터 공
동(402) 내에 압입되어, 어댑터(440)와 필터 공동(402) 사이에 억지끼워맞춤 밀봉부
(interference seal)를 형성할 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 필터 조립체(430)는 냉각(예
를 들면, 액체 질소 또는 기타 냉각 방법을 이용)되고, 필터 하우징(400)은 가열될 수 있
다. 필터 조립체(430)는 냉각으로 인해 수축되어 있고 필터 공동(402)은 가열로 인해 팽창
되어 있는 동안에, 필터 조립체(430)가 필터 공동(402) 내에 배치된다. 필터 조립체(430) 
및 필터 하우징(400)이 상온으로 되면, 필터 어댑터(440)와 필터 공동(402)의 벽 사이에 억
지끼워맞춤 밀봉부가 형성될 것이다. 또 다른 실시예에서, 필터 조립체(430)는 필터 공동
(402)에 전자 비임, 레이저, TIG 또는 플라즈마 용접을 이용하여 용접될 수 있다.
[도 14] 로우 프로파일 필터용 밀봉 기구를 개략적으로 도시한 도면
[0080] 전술한 실시예에서, 어댑터와 필터 하우징 간의 밀봉은, 기타 밀봉 방식이 사용될 
수 있지만, 어댑터와 필터 공동의 크기 차이에 의해 생성되는 억지끼워맞춤 밀봉으로서 주
로 설명하였다. 도 14에는 사용될 수 있는 기계적 밀봉의 다른 예가 개략적으로 도시되어 
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있다. 도 14의 실시예에서, 금속 또는 기타 재료의 가스켓(1402)(예를 들면, 강제 링 또는 
기타 가스켓)이 필터 하우징(1406)과 어댑터(1404) 사이에 배치된다. 필터 하우징(1406)과 
어댑터(1404)는 각각 얇은 돌출 에지[예를 들면, 에지(1408) 및 에지(1410)]를 포함할 수 
있다. 어댑터(1404)가 필터 공동 내에 압입되는 경우, 각 에지는 가스켓(1402) 내로 파고들
어, 기계적 밀봉을 형성한다.
 효과
[0083] 본 발명의 다양한 실시예는 요구되는 구성 부품의 개수를 감소시키고, 필터당 요구
되는 밀봉부의 개수를 감소시킴으로써, 종래 기술의 필터에 비해 이점을 제공하고 있다. 이
는 가스의 유동 경로를 차단할 가능성이 있는 밀봉부의 개수를 감소시켜, 내부의 접수 표면
을 최소화하며, 내부 데드 스페이스를 최소화하고, 누설의 가능성을 저감시키며, 필터의 높
이를 감소시킨다.
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[별지 2]
선행발명 1의 주요 내용
 기술 분야
[0002] 본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스를 공급하는 가스 공급 장치에 관한 것이다.
 종래기술 및 해결하려는 과제
[0005] 도 15는 종래의 가스 공급 유닛 (100) 의 일례를 도시한 도면이다.
[0006] 가스 공급 유닛 100은 유체 제어 기기인 수동 밸브 101, 레귤레이터 102, 압력계 
103, 필터 104, 유입 밸브 105, 퍼지 밸브 106, 질량 유량 제어기 107, 출력 밸브 108가 가
스 유로가 각각 형성된 유로 블록 109, 110, 111, 112, 113, 114, 115, 116, 117에 접속
됨으로써 여러 종류 공급 가스를 공급하는 가스 공급 라인의 일부를 구성하고 있다. 이러한 
가스 공급 유닛 100은 유체 제어 기기 101~108 사이에 접속 부품을 필요로 하지 않기 때
문에 설치 면적을 콤팩트하게 하여 유로 길이를 단축할 수 있다.
[도 15] 종래 가스공급유닛(100)의 일례
[0007] 다만, 도 15의 가스공급유닛(100)은 다음과 같은 단점이 있다.
[0008] 구체적으로 가스 공급 유닛 100에서는 유체 제어 기기 101~108를 유로 블록 
109~117 의 상면에 설치해 공급 가스의 유로를 형성하고 있기 때문에, 예를 들면 유체 제어 
기기 101~108의 하나인 필터 104를 2개의 유로 블록 112,113에 접속할 필요가 있다. 
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따라서 가스 공급 유닛 100은 가스 공급 라인에 설치할 때, 유체 제어 기기 101~108과 유
로블록 109~117의 설치 공간을 필요로 해, 점유 스페이스가 커지는 문제가 있었다. 또한 
유체 제어기기 101~108이나 유로 블록 109~117 등 부품수가 많기 때문에 가스 공급 유닛 
100 자체의 중량이 무거워지는 문제가 있었다. 특히 가스 공급 유닛 100은 복수열 옆에 있
어서 사용되는 것이 일반적이고 점유 스페이스나 중량의 문제는 가스 공급 라인에 사용되
는 가스 공급 유닛 100의 수가 증가할 때마다 더욱 두드러진다.
[0009] 가스 공급 유닛 100은 필터 104의 배치 변경이 번거로왔다. 즉 예를 들면 필터 
104의 배치를 입력 밸브 105의 상류 측에서 레귤레이터 102의 상류측에 배치 변경할 경
우, 종래의 가스 공급 유닛 100에서는 레귤레이터 102와 압력계 103과 필터 104를 유로 
블록 110~113에서 각각 분리, 레귤레이터 102와 압력계 110을 하류 측에 늦추어 유로 블
록 111~113에 접속한 후에 필터 104를 유로 블록 110,111에 접속함으로써, 레귤레이터 
102와 압력계 103과 필터 104와의 순서를 정렬할 필요가 있고, 배치 변경에 많은 시간이 
소요된다.
[0010] 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 된 것이며 콤팩트하고 경량이며, 배치 변
경이 용이한 가스 공급 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
 과제 해결 수단 및 구체적인 내용
[0011] 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은 2 이상의 유체 제어 기기와 유
로 블록을 가지며, 유로 블록의 상면에 유체 제어 기기를 설치함으로써 유체 제어 기기끼리
를 접속하고 가스 공급 라인의 일부를 구성하는 가스 공급유닛에 있어서 유체 제어 기기와 
유로 블록 사이에 설치되고 유체 제어 기기와 유로 블록을 연통시키는 유로에 필터 엘리먼
트를 마련한 필터 블록을 가지는 것을 특징으로 하고 있다.
[0012] 다른 측면에 따르면, 본 발명은 2개 이상의 유체 제어 장치에 가스를 공급하는 가
스 공급 장치에 있어서, 상기 유체 제어 장치들을 서로 연결하여 상기 가스 공급 장치의 일
부를 구성하는 유로 블록; 및 필터 블록을 포함하는 필터 블록을 포함하고, 상기 필터 블록
은 유체 제어 장치와 유로 블록 사이에 연결되고, 유체 제어 장치와 유로 블록 사이를 연통
시키는 통로가 제공되며, 필터 블록은 통로 내에 배치된다.
[0030] (제1 실시 형태)
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[0031] 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 가스 공급 장치의 바람직한 제1 실
시예를 상세히 설명한다. 도 1은 필터 블록 26 가 공급 가스의 흐름에서 레귤레이터 2의 
상류에 배치되는 가스 공급 유닛 10의 측면도이다.
[도 1] 본 발명의 제1 실시예의 가스 공급 장치의 측면도
[0032] 가스 공급 유닛 10은 상류 측에서 유체 제어 장치인 수동 밸브 1, 레귤레이터 2, 
압력트랜스듀서 3, 차단 밸브 4, 질량 유량 제어기 5, 퍼지 밸브 6 및 체크밸브 7의 각 모
듈 순으로 배열되어 각각 베이스 부재 19상에 조립된 것이다. 그리고 각 모듈 1~7은 종래
예의 가스 공급 유닛 100(도 15 참조)과 동일하게 유로 블록 11~18을 통해 접속되고 가
스 공급 라인의 일부를 구성하고 있다. 여기서 베이스 부재 19로서는 베이스 플레이트나 
레일 등을 이용한다.
[0033] 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10과 종래의 가스 공급 유닛 100과의 차이는 가
스 공급 유닛을 구성하는 모듈에서 필터 104를 제거하고 있는 점에 있다. 필터 104는 공급
된 공급 가스 내의 혼입 불순물을 제거하기 때문에 가스 공급 라인을 구성하는데 있어서 필
요한 구성이지만 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10에서는 그것을 수동 밸브 1이나 레귤레
이터 2등과 같이 모듈화하는 것이 아니라, 필터 기능을 내장하는 새로운 필터 블록 20으로 
대체한다.
[0034] 도 15에 도시된 바와 같이 종래의 가스 공급 유닛 100에서는 수동 밸브 101을 통
한 공급 가스는 레귤레이터 102에서 유로 블록 111, 압력계 103, 유로 블록 112, 필터 
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104로 공급되고 필터 104에서 불순물이 제거된 후에 유로 블록 113, 입력 밸브 105, 유로 
블록 114, 퍼지 밸브 106, 유로 블록 115, 질량 유량 제어기 107, 유로 블록 116, 출력 
밸브 108으로 순차적으로 흘러 간다. 이 때, 모듈 101~106은 유로 블록 109~115의 상면
에 직접 접속되어 있었다. 그에 대해, 도 1에 나타내는 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10
은 필터 기능을 내장하는 필터 블록 20을 모듈 1~4와 유로 블록 11~15 사이에 적절히 배설
하는 것을 제안하는 것이다.
[0035] 도 2는 레귤레이터 (2) 의 하면도이다.
[0036] 레귤레이터 2의 하면은 한 변의 길이 A의 정사각형을 이루어, 그 네 모서리에는 
설치 구멍 31이 형성되어 있다. 설치 구멍 31은 레귤레이터 2의 하면에서의 가스 공급 유닛 
10의 길이 방향(도면중 좌우방향)의 변에 대해서 중점에서 B만큼 떨어진 위치에 좌우 대칭
으로 형성되고 가스 공급 유닛 10의 폭방향(도면중 상하방향) 변에 대해서 중점에서 C만큼 
떨어진 위치에 상하 대칭으로 형성되어 있다. 또한 레귤레이터 2의 입력 포트 32와 출력 
포트 33은 레귤레이터 2의 하면에서의 가스 공급 유닛 10의 길이 방향(도면중 좌우방향)의 
변에 대해서 중점에서 B만큼 떨어진 위치에 좌우 대칭으로 마련되어 있다. 입력 포트 32와 
출력 포트 33 개구부에는 도시하지 않는 가스켓을 끼워넣기 위한 숄더 부분(단차)이 형성
되어 있다.
[0037] 도 3은 필터 블록 20의 상면도이다. 도 4는 도 3의 NN단면도이다. 도 5는 필터 
블록 20의 하면도이다.
[0038] 필터 블록 20은 상면과 하면이 한 변의 길이 A의 정사각형을 이루는 직육면체에 형
성된 것이며 그 네 모서리에는 모듈 1~4에 대해서 필터 블록 20을 도시하지 않는 볼트로 
고정하기 위한 나사 구멍 30이 레귤레이터 2의 설치 구멍 31과 대응하도록 형성되어 있다. 
즉 나사구멍 30은 필터 블록 20의 가스 공급 유닛 10의 길이 방향(도면중 좌우방향)의 변
에 대해서 중점에서 B만큼 떨어진 위치에 좌우 대칭으로 형성되고 가스 공급 유닛 10의 폭
방향(도면중 상하방향)변에 대해서 중점에서 C만큼 떨어진 위치에 상하 대칭으로 형성되어 
있다.
- 55 -
[도 3] 필터 블록의 평면도 [도 4] 도 1의 NN선을 따른 단면도
[0039] 필터 블록 20의 상면에는 레귤레이터 2의 입력 포트 32와 출력 포트 33에 접속 
가능한 포트 21, 22가 형성되어 있다. 포트 21, 22는 필터 블록 20의 상면에서의 가스 공급 
유닛 10의 길이 방향(도면중 좌우방향)의 변에 대해서 중점에서 B만큼 떨어진 위치에 좌우 
대칭으로 마련되어 있다. 포트 21, 22 개구부에는 도시하지 않는 가스켓을 끼워 넣기 위한 
숄더 부분(단차)이 형성되어 있다.
[0040] 한편, 필터 블록 20의 하면에는 포트 21, 22의 바로 밑에 포트 23, 24가 마련되어 
있다. 따라서 포트 23, 24는 필터 블록 2의 하면에서의 가스 공급 유닛 10의 길이 방향(도
면중 좌우방향)에 대해서 중점에서 B만큼 떨어진 위치에 좌우 대칭으로 마련되어 있다. 
따라서, 필터 블록 20은 포트 21, 22와 포트 23, 24가 상면과 하면의 같은 위치에 마련되
어 있으므로, 상하 방향의 설치를 제한되지 않는다. 또한, 포트 23, 24 개구부에는 도시하
지 않는 가스켓을 끼워 넣기 위한 숄더 부분이 형성되어 있다.
[0041] 포트 21과 포트 23은 필터 공동 25를 통해 연결되어 있다. 필터 공동 25는 필터 블
록 20의 하면 측에서 원형으로 파인 구멍이며 천정측에 금속제의 필터 엘리먼트 26이 삽입
된다. 필터 엘리먼트 26은 필터 공동 25를 막도록 하면 측에서 들어간 필터 가압 부재 27
에 의해 누를 수 있도록 위치가 결정된다. 필터 가압 부재 27은 필터 공동 25로부터의 가스 
누출을 방지하기 위해서도 필터 가압 부재 27과 필터 블록 20과의 극간 부분을 용접으로 막
아 필터 가압 부재 27을 필터 블록 20에 일체로 고정시키고 있다. 또한 포트 23에 접속하
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는 유로 28이 필터 공동 25의 내벽면에 개구부를 가지고 있기 때문에, 필터 공동 25에
는 원통 형상의 측벽에 유로 28과 연결되는 관통 구멍 29가 형성되어 있다.
[0055] 결과적으로, 제1 실시 형태의 가스 공급 유닛 10에 의하면 필터 블록 20을 유체 제
어기기 1~7과 유로 블록 11~15 사이에 마련함으로써(도 1 참조), 종래 유체 제어 기기로
서 유로 블록 112 ,113에 접속되어 있던 필터 104(도 15 참조)를 제거하고 이에 따라 필
터 104에 접속되어 있던 2개의 유로 블록 112, 113 중 하나를 제거했기 때문에, 전장을 짧
게하여 유닛 전체를 콤팩트하게 할 수 있는 것과 동시에, 부품수 등을 줄여 중량을 경량화할 
수 있다. 그리고 필터 블록 20은 유체 제어 기기 1~4와 유로 블록 11~15 사이에 배치되므
로, 유체 제어 기기 1~4의 순서를 정렬하지 않고 간단하게 배치 변경할 수 있다.
[0056] 이 때, 유체 제어 기기 1~7의 하면에 입력 포트 32와 출력 포트 33을 각각 같은 
위치에 마련하면(도 2 참조), 필터 블록 20을 유체 제어 기기 1~7 중 어느 쪽에 대해서도 
접속 가능하게 되므로(도 1, 도 8~도 11 참조), 사용 목적에 따라 필터 블록 20의 배치를 
자유롭게 선택할 수 있다.
[0058] (제2 실시 형태)
[0059] 다음으로, 본 발명의 가스 공급 유닛의 제2 실시 형태에 대해 도면을 참조해 설명
한다. 제2 실시 형태에서는 제1 실시 형태와 필터 블록의 구성이 다르므로, 이 차이점에 
대해 상세하게 설명한다. 도 12는 필터 블록 50의 상면도이다. 도 13은 필터 블록 50의 
측면도이다. 도 14는 도 12의 HH단면도이다.
[도 12] 제2실시예에 따른 필
터블록 평면도
[도 13] 필터블록 측면도 [도 14] H-H선에 따른 측면도
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[0060] 제2 실시 형태의 가스 공급 시스템으로 사용되는 필터 블록 50은 필터 블록 50의 측
면 개방 필터 공동 55에 금속제의 필터 엘리먼트 56을 옆에서 삽입하도록 하고 있다. 필터 
엘리먼트 56은 원통의 일단을 둘러싼 봉투 형상을 한 것이며 반대의 개방단에 고정된 링 플
레이트(환상판) 60을 필터 공동 55에 끼워 넣어 위치가 결정된다(장착된다). 필터 공동 55 
개구부는 덮개(밀봉버튼) 57에서 닫혀 포트 51, 53 사이에 필터 엘리먼트 56을 배치한 필터 
블록 50을 구성하고 있다. 필터 블록 50의 포트 51~54는 제1 실시 형태의 필터 블록 20에 
형성된 포트 21~24와 동일하게 상면과 하면의 같은 위치에 형성되어 있다. 그리고 필터 블
록 50은 나사 구멍 52에 삽통한 볼트로 유체 제어 기기 1~7에 고정되어 유체 제어 기기 
1~7과 유로 블록 11~15 사이에 배치된다.
[0061] 이러한 필터 블록 50을 사용한 가스 공급 유닛에 의하면 제1 실시 형태의 가스 공
급 유닛 10과 동일하게 종래 유체 제어 기기로서 유로 블록 112, 113에 접속되어 있던 필
터 104(도 15 참조)를 제거하고 그것에 따라 필터 104에 접속되어 있던 2개의 유로 블록 
112, 113 중 하나를 제거했기 때문에, 유닛 전체의 콤팩트화와 경량화를 도모할 수 있고, 
이에 대해 소형 집적유닛을 구성한 경우라도 필터 부분의 유로를 작게 하지 않고 충분한 
유량을 확보할 수 있다.
[0063] (1) 예를 들면 상기 실시 형태에서는 유체 제어 기기 1~7의 하면에 형성한 입력 포
트 32와 출력 포트 33을 설치 구멍 31과 동축상에 형성하거나 필터 블록 20, 50의 포트 
21~24, 51~54를 나사구멍 30, 59와 동축상에 형성하거나 유로 블록 12,13의 포트 43,44
를 나사구멍 42와 동축상에 형성함으로써, 유체 제어 기기 1~7과 필터 블록 20 또는 유로 
블록 12,13 등의 사이에 배설한 가스켓을 효율적으로 압착해 실링성을 향상시키도록 했다. 
그에 대하고, 가스켓 자체에 탄성 등을 가지고 실링성이 좋은 것을 사용함으로써, 각 포트, 
설치 구멍, 나사구멍을 임의의 위치에 형성하여도 좋다. 
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[별지 3]
선행발명 2의 주요 내용
 기술 분야
[0002] 본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 공정가스를 공급하는 가스공급장치에 관한 
것으로, 더욱 상세하게는 소형이고 경량인 가스공급장치에 관한 것이다.
 종래기술 및 해결하려는 과제
[0006] 여기서 유체 제어 기기 중 필터 102는 다른 유체 제어 기기와 동일하게 유로 블록 
121,122의 상면에 설치되어 있다. 이 설치 방법에 대해서는 예를 들면 일본 특개평 
11-165012호 공보에도 개시되어 있다. 그 필터가 도 17의 가스 공급 유닛에 설치된 경우
를 도 18에 나타낸다. 베이스 부재 110상에 유로 블록 121~129이 설치되고 유로 블록 
121~129의 상면에 유체 제어 기기 101~108가 설치된다. 특히 필터 102는 평면형 필터 
102 a로서 필터 공동 102 b에 배치되고 필터 102의 한쪽이 유로 102 c를 통해 유로 블록 
121의 V자형 유로 121 a와 연통되어 있다. 또한 필터 102의 다른 측이 유로 102 d를 통해 
유로 블록 122의 V자형 유로 122 a와 연통되어 있다.
[도 18] 종래 가스 공급 유닛의 다른례
[0007] 유로 블록 121~129의 형상을 도 19 및 도 20에 나타낸다. 어느 유로 블록도 형
상이 동일하므로, 블록 121에 대해서만 설명한다 도 19가 위에서 본 평면도이며 도 20은 
AA단면도이다.
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[도 19] 종래의 유로 블록의 평면도 [도 20] 도 19의 유로 블록의 단면도
[0008] 2개의 관통 구멍 131은 유로 블록 121을 볼트에 의해 베이스 부재 110에 고정하
기 위한 것이다. 이 관통 구멍 131에는 볼트의 머리를 수납하는 카운터 보링 구멍 131a가 
형성되어 있다. 4개의 나사 구멍 132는 유체 제어 기기를 볼트에 의해 설치하기 위한 것이
다. V자형 유로 121a 개구부 133b에는 실링 가스켓을 수납하기 위한 가스켓 수납부 133a
가 형성되어 있다.
[0009] 그러나, 상기와 같은 종래의 가스 공급 장치 100는 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.
[0010] 일반적으로 가스 공급 장치는 품질이 변하는 공정 가스가 긴 파이프 라인을 통해 챔
버로 전달되는 것을 방지하기 위해 챔버 근처에 설치되는 것이 바람직합니다. 따라서, 일부 
경우에, 가스 공급 유닛 100은 수평으로 설치될 뿐만 아니라 챔버의 퍼니스 케이싱에 대해 
수직으로 설치될 수도 있다. 그러나, 종래의 가스 공급 장치 100에는 유체 제어 장치 
101~108가 다수 장착되어 가스 공급 장치 100 자체의 무게와 길이가 증가하는 문제가 있었다.
[0012] 본 발명은 본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 상기 문제점을 극
복하고, 챔버 근처에 설치될 수 있을 만큼 소형이고 경량인 가스 공급 장치를 제공하는 것을 
목적으로 한다.
 과제 해결 수단 및 발명의 상세한 설명
[0014] 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 베이스 부재와 2 이상의 유체 제어 기기와 상기 
유체 제어 기기끼리를 연통시키기 위해 상기 베이스 부재의 상면 및 상기 유체 제어 기기
의 하면에 설치되는 유로 블록을 가지는 가스 공급 유닛으로서, 복수의 유로 블록 중의 하
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나가 입력 포트와 출력 포트와 입력 포트와 상기 출력 포트 사이에 형성된 기밀의 필터 공
동과 필터 공동에 내장된 필터를 가진다.
[0015] 본 발명의 다른 측면에 따르면, 베이스 부재, 2개 이상의 유체 제어 장치, 및 베이
스 부재의 상면 및 유체 제어 장치의 하면에 부착된 복수의 유로 블록을 포함하는 가스 공
급 장치가 제공된다. 상기 유로 블록 중 하나는 유입구와 배출구, 상기 유입구와 배출구 사
이에 형성되고 베이스 부재측에 개구부가 구비된 필터 공동과, 상기 필터 공동에 내장된 금
속 필터를 포함하며, 금속 필터는 필터 공동을 밀봉 폐쇄하기 위해 위쪽으로 개구부가 있는 
컵형 필터 리테이너에 의해 배치되고, 블록에는 필터 공동을 연통시키도록 필터 리테이너의 
측벽을 통해 형성된 입구 통로가 제공된다. 입구 포트와 함께, 블록에는 필터 공동이 출구 
포트와 연통되도록 금속 필터 위에 형성된 출구 통로가 더 제공된다.
[0016] 또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 베이스 부재와, 2개 이상의 유체 제어 장치
와, 베이스 부재의 상면과 유체의 하면에 부착된 복수의 유로 블록을 포함하는 가스 공급 
장치가 제공된다. 상기 유로 블록 중 하나는 유입구와 유출구를 포함하고, 상기 유입구와 
유출구 사이에 형성되고 상기 블록의 측면에 개구부가 구비된 필터 공동과, 상기 필터에 내
장된 필터를 포함하는 제어 장치 필터는 개방단과 폐쇄단을 갖는 원통형으로 되어 있으며, 
그 개방단을 통해 필터공동에 삽입되면 제 위치에 위치하며, 필터는 개방단을 통해 유입구
와 연통되며, 유입구는 필터를 통해 출구 포트와 연통된다.
[도 1] 본 발명에 따른 제1 실시예의 가스 공급 장치 전체의 측면도
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[0041] 본 실시 형태의 가스 공급 유닛 10과 종래의 가스 공급 유닛 100(도 17)과의 차이
는 가스 공급 유닛 10을 구성하는 모듈에서는 필터 102가 배제되어 있는 점에 있다. 필터 
102는 공급된 가스 내의 혼입 불순물을 제거하기 때문에 가스 공급 라인을 구성하는데 있
어서 필요한 구성이지만 본 실시예에서는 이러한 핸드밸브 1 및 레귤레이터 2와 같은 모듈
로 구성된 필터를 사용하는 대신, 내부에 필터 기능을 갖는 유로 블록 11을 사용한다.
[0042] 도 17에 나타내는 종래의 가스 공급 유닛 100에서는 수동 밸브 101을 통한 가스
는 필터 102에서 불순물이 제거되고 유로 블록 122를 통해 레귤레이터 103 이하, 각 모듈
을 순차적으로 흘러 간다. 이 때, 각 모듈 101~108을 연결시키는 것이 유로 블록 
121~129이지만 유로 블록 121~129은 인접한 각 모듈 101~108의 출력 포트와 입력 포트
를 연결시키기 위해 V자의 유로가 형성된 것에 불과하였다. 그러나 본 실시 형태에서는 각 
모듈을 접속하는 유로 블록 11~17 중 수동 밸브 1과 레귤레이터 2를 접속하는 유로 블록 
11에 대해서는 필터 기능을 내장시킨 것을 새로 제안하고 채용하기로 했다. 또한 기타 유
로 블록 12~17은 종래의 것과 동일하게 V자의 유로가 형성된 것이다.
[도 2] 필터가 내장된 유로 블록의 단면도 [도 8] 도 2의 유로 블록의 평면도
[0046] 유로 블록 11에는 도 8의 우측 방향으로 연장 형성된 연장부 21가 구비된다. 즉, 
도 1의 인접한 유로 블록 12 방향이다. 이는 기존의 유로 블록과 다르다. 이 연장부 21는 도 
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1에 도시된 바와 같이 인접한 블록 11, 12 사이에 공간이 없이 설치된다. 블록 11의 연장
부 21에 필터 공동 33을 형성함으로써, 기존의 블록 사이에 발생하는 공간을 별도의 공간을 
필요로 하지 않고 활용하게 된다. 따라서, 가스 공급 유닛을 컴팩트하게 만들 수 있다.
[0055] 이러한 유로 블록 50, 60, 70, 80에 의하면 상기 실시예와 동일하게 가스 공급 유
닛을 구성하는 모듈 속에서 필터를 없애 유닛의 길이를 짧고 콤팩트하게 할 수 있고 그에 
더해 소형 집적유닛을 구성한 경우라도 필터 부분의 유로를 작게 하지 않고 충분한 유량을 
확보할 수 있다.
[도 7] 필터가 내장된 다른 유로 블록이 측면 
또는 수평 방향으로 삽입된 단면도
[도 7] 도 7의 유로 블록의 평면도
[0056] 다음, 유량을 확보하기 위한 필터 내장의 유로 블록에 대해 도 7에 도시된 다른 예를 
설명한다. 도 7은 필터 내장의 유로 블록을 나타낸 단면도이다. 이것은 전술한 것과는 달리 
유로 블록 90의 측방에서 열린 필터 공동 92 내에 금속 필터 91을 옆에서 삽입하도록 한 
것이다. 이 금속 필터 91은 원통의 일단을 둘러싼 형상을 한 것이며 반대의 개방단에 고정된 
환상판 93을 필터 공동 92에 끼워넣고, 도시한 바와 같이 위치가 결정되고 있다. 그리고 필
터 공동 92 개구가 덮개 94에 의해 닫혀 포트 95, 96 사이에 금속 필터 91을 배치한 유로 블
록 90이 구성되어 있다. 이에 따라, 포트 95를 통해 블록 90내부로 전달된 가스는 개방단 
91a을 통해 필터 91의 중앙 중공 91b으로 유입된 후 필터 91를 통과하여 필터 91의 외부
로 유출된다.
[0058] 유로 블록 90에는 도 1에서 우측 방향으로 연장 형성된 연장부 21가 구비된다. 
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즉, 도 9의 인접한 유로 블록 12방향이다. 이는 종래의 통상적인(conventional) 유로 블록
과 다르다. 이 실시 유형에서, 블록 90은 도 1의 블록 11을 대체하여, 가스 공급 장치를 
구성한다. 이러한 연장부 21는 인접한 블록 90, 12 사이에 공간이 없이 위치하게 된다. 블
록(90)의 연장부 21에는 필터 공동 92을 형성함으로써, 추가적인 공간을 필요로 하지 않고 
기존의 블록 사이에 발생하는 공간을 활용하게 된다. 이에 따라 가스 공급 장치의 크기를 줄
일 수 있다.
[0059] 도 9에 있어서 2개의 관통 구멍 23은 유로 블록 11을 볼트에 의해 베이스 부재 
20에 고정하기 위한 것이다. 이 관통 구멍 23에는 볼트의 머리를 수납하는 카운터 보링 
구멍 23a가 형성되어 있다. 4개의 나사 구멍 22는 유체 제어 기기인 모듈을 볼트에 의해 설
치하기 위한 것이다. 포트 95, 96에는 실링 가스켓을 수납하기 위한 가스켓 수납부 95a, 
96a가 형성되어 있다.
[0060] 상기와 같이 구성된 유로 블록 90에 따르면, 상기 실시 예와 동일하게 가스 공급 유
닛을 구성하는 모듈 속에서 필터를 없애 유닛의 길이를 짧고 콤팩트하게 할 수 있고 그에 
더해 소형 집적 유닛을 구성한 경우라도 필터 부분의 유로를 작게 하지 않고 충분한 유량을 
확보할 수 있다.
[0065] 또한, 도 15는 도 1과 동일한 형상의 필터를 적용한 유로 블록의 다른 예를 도시한
다. 이 예에서 도 7과 동일한 형상의 필터가 도 7과 다른 방향으로 삽입된다. 도 16은 도 
15의 블록의 단면도이다. 이 예에서, 필터 25는 도 7의 필터 91와 마찬가지로 폐쇄 단부와 
개방 단부를 갖는 중공 원통형 형상을 갖는다. 그러나, 필터 91와는 달리, 이 필터 25는 
개방 단부로부터 유로 블록 24의 필터 공동 92'으로 삽입되고, 필터 공동 92'의 개구에 끼
워진 덮개 94'에 의해 블록 24의 측면에서 제 위치에 위치된다. 도 7의 필터 91의 경우와 
마찬가지로, 블록 24로 유입된 가스는 개방단을 통해 필터 25의 중앙 중공으로 유입되어 필
터 25를 통과하여 외부로 유출된다. 필터 25의 개방단과 유로 블록 24의 필터 공동 92' 
사이에는 개스킷 26이 개재되어 필터 25와 블록24 사이의 간극으로부터 가스가 누출되는 
것을 방지한다.
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끝. 
[도 15] 필터가 내장된 다른 유로 블록의 평면도 [도 16] 도 15의 유로 블록의 평면도